Gebraucht NOVELLUS MB2 #188659 zu verkaufen

NOVELLUS MB2 ist eine Sputter-Abscheidung für Dünnschichtanwendungen in der Industrie. Es verwendet einen abgewinkelten Ziel-Elektronenstrahl-Beschuss über einen Größenbereich von bis zu 12-Zoll-Durchmessern, der seinen Einsatz in Systemen mit den höchsten Standards an Genauigkeit und Präzision ermöglicht. Durch die Steuerung des energetischen Beschusses von Elektronen ist MB2 in der Lage, detaillierte Muster zu reproduzieren, die in Kombination mit dem Dünnschichtabscheidungsprozess einen extrem engen Bereich einhalten. Das System wurde auch entwickelt, um Prozessüberwachung, wie optische Emissionsspektroskopie, über seine Sputterprozessfenster zu integrieren, was schnellere Reaktionszeiten und eine bessere Qualitätskontrolle über die Mechanismen liefert. Die Sputterquelle wurde entwickelt, um sich an eine Vielzahl von Zielen anzupassen. Materialien wie Chrom, Molybdän, Gold und Silber können für die großflächige Abdeckung verwendet werden und bieten dem Kunden kreativere Anwendungen der Dünnschichtstruktur. Die Quelle bietet auch eine unabhängige Steuerung des Elektronenstrahlstroms, der Beschleunigungsspannung und der Quellengröße, wodurch die Parameter und das Filmprofil auf dem Substrat präzise gesteuert werden können. In der Sputterkammer befindet sich auch ein einziges oder doppelt drehbares Target, das in Kombination mit innovativen Abkühl- und Vorkonditionierungsverfahren dazu beiträgt, die Qualität und Homogenität des Zielbereichs sicherzustellen. Die Einheit ist auch mit einer erweiterten Fensterfunktion ausgestattet, die eine gleichzeitige Abscheidung mehrerer dünner Filme ermöglicht. Dadurch entfällt die Notwendigkeit, Ziele zu wechseln, was die Zeiteffizienz und Prozessgenauigkeit weiter verbessert. Zusätzlich enthält die Maschine ein präzise gesteuertes HF-Substrat-Vorspannwerkzeug, das entwickelt wurde, um eine gleichmäßige Abdeckung und einheitliche Leistung zu liefern. Die Biasing-Technologie vereinfacht die Strukturierung komplexer Strukturen und bietet gleichzeitig die Möglichkeit, eine höhere Materialqualität und Gleichmäßigkeit zu erreichen. NOVELLUS MB2 bietet auch eine Vakuumanlage mit Präzisionsüberwachung von Druck, Temperatur und Magnetronleistung sowie Stickstoffreinigungsfähigkeit zum Oxidationsschutz. Das Modell bietet auch SPS-Butler-Operationen, zusammen mit Auslassreinigungsfähigkeit, eingebaute Sicherheitsfunktionen und Schutz vor Düsenbruch. Darüber hinaus hat das Gerät die Fähigkeit, Rezepte im Speicher zu speichern und mehrere Prozessparameter in Echtzeit zu überwachen, wodurch es einfacher ist, hohe Erträge und Qualitätssicherungsstandards zu überwachen und beizubehalten. Abschließend ist das MB2-Sputterabscheidungssystem so konzipiert, dass es schnell, präzise und zuverlässig ist. Mit Kontrolle über Parametereinstellungen, Verwendung von reaktiven Gasen, mehreren Gerätefenstern und einstellbarer HF-Substratvorspannung ist das Gerät so konzipiert, dass es flexible und präzise Abscheidungsfunktionen bietet. Die Gesamtkombination aus Eigenschaften und Prozesskontrolle der Maschine macht sie zu einer starken Wahl für jeden fortgeschrittenen Dünnschichtabscheidungsbedarf.