Gebraucht NOVELLUS MB2 #9270552 zu verkaufen
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ID: 9270552
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1994
Metal sputtering system, 8"
1994 vintage.
NOVELLUS MB2 ist eine Sputterausrüstung der nächsten Generation, die auf die Anforderungen der heutigen fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozesse zugeschnitten ist. Zu den fortschrittlichen Technologien gehören hochmoderner Plasmagenerator, Hochleistungsziele und Prozesskammern sowie aktualisierte, benutzerfreundliche Steuerungssoftware. Das System ist hochgradig konfigurierbar und ermöglicht sowohl große als auch kleine Fertigungsprojekte. Die Zielstufe von MB2 wurde mit überlegener Sputtergenauigkeit entwickelt und ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien zu zerstäuben. Die Zielstufe umfasst digitale Servomotorantriebe, racklose vertikale Hubaktuatoren und Positionskammerflexibilität für eine Vielzahl von Substraten und Zielgrößen. Darüber hinaus kann die Kammer dank ihrer fortschrittlichen Differentialpumpeinheit mit hohem Basisdruck umgehen. NOVELLUS MB2 ist mit zwei Hochleistungs-Plasmaquellen ausgestattet: einem Dual-DC-Magnetron und einer HF-Diode. Beide Quellen sind in der Lage, maximale Plasmadichte zu liefern, um jede Art von Abscheidungsprozess zu unterstützen. Das Dual-Magnetron bietet eine breite, gleichmäßige Abdeckung über die gesamte Zieloberfläche, die zur Verringerung der Oberflächenschäden des Substrats beiträgt. Die Benutzeroberfläche von MB2 ist intuitiv und ermöglicht eine einfache Steuerung aller Funktionen der Maschine. Mit seiner aktualisierten Steuerungssoftware können Benutzer die Abschreibungsparameter an ihre spezifischen Anforderungen anpassen. NOVELLUS MB2 ist ein zuverlässiges und robustes Werkzeug, das in einer Vielzahl von Sputterprozessen eingesetzt werden kann. Seine fortschrittlichen Technologien, Steuerungssoftware und benutzerfreundliche Schnittstelle machen es zu einem idealen Werkzeug für Halbleiteranwendungen. Das Asset kann hohe Präzision und Genauigkeit erzielen, so dass Anwender hochwertige Schichten und Substrate mit minimalen Defekten herstellen können.
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