Gebraucht NOVELLUS / VARIAN 3190 #9216672 zu verkaufen

NOVELLUS/VARIAN 3190 ist ein Mehrkammer-Sputtersystem auf Vakuumbasis zur Dünnschichtabscheidung auf einer Vielzahl von Materialien. Es ist so konzipiert, dass es wirtschaftlich effizient und durchsatzfreundlich hervorragende Dünnschichteigenschaften liefert. VARIAN 3190 verwendet ein Mehrkammerdesign mit zwei Hauptabschnitten. Die vordere Kammer ist der Substratübertragungsbehälter, wo alle Arbeiten mit dem Substrat beginnen, einschließlich Materialhandhabung, Grundierung, Sputtern und Nachbehandlung. Die hintere Kammer ist die Vakuumkammer, in der unter bestimmten Parametern ein Hochvakuum erzeugt wird. Die Vakuumkammer kann je nach Material, Substratgröße, Abscheidetechniken und anderen Faktoren individuell abgestimmt werden. Neben den beiden Hauptkammern verfügt NOVELLUS 3190 auch über einen In-Unit-Wafer-Magnetturm, einen Semi-Permanent-Batch-Director und einen Feinsteuerung-Magnetsputterkopf. Der Magnetturm enthält zwei Magnete, die die Filmabscheidung stabilisieren, indem sie das Substrat in einer stationären Position halten. Der semi-permanente Chargenleiter ist ein leistungsstarker In-Chamber-Roboterarm, der einen Teil des Materialhandlings zwischen Kammern automatisiert. Der Roboterarm ermöglicht auch eine präzise Kontrolle des Abscheideprozesses. Der Feinsteuerung-Magnetsputterkopf ist ein präzise konstruiertes Bauteil, das in der Lage ist, die Sputterzeit und Leistung an bis zu vier verschiedenen Kathoden genau zu steuern. Neben einer benutzerfreundlichen und konsistenten Materialhandhabungs-/Sputtermaschine ist 3190 auch für sein umweltfreundliches Design bekannt. Das Werkzeug ist in der Lage, mit einer sehr strömungsarmen kapselentlüfteten Kammer zu arbeiten, was es ideal für geschlossene und offene Umgebungen macht. Es soll auch den Einsatz umweltfreundlicher Lösungsmittel ermöglichen, wodurch flüchtige organische Verbindungen (VOC) in die Atmosphäre freigesetzt werden. NOVELLUS/VARIAN 3190 Asset ist ein zuverlässiges und effizientes Sputtermodell, das hervorragende Abscheidungsergebnisse liefert. Mit seinen mehreren Kammern, dem Roboterarm und dem magnetischen Sputterkopf bietet das Gerät eine effektive und flexible Lösung für eine Vielzahl von Abscheidungsanwendungen. Darüber hinaus machen seine Konstruktionsmerkmale es zu einem umweltfreundlichen System und reduzieren VOC-Emissionen und Kosten.