Gebraucht NOVELLUS / VARIAN XM 90 #9226347 zu verkaufen

NOVELLUS / VARIAN XM 90
ID: 9226347
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1992
Sputtering system, 6" 1992 vintage.
NOVELLUS/VARIAN XM 90 ist eine Sputteranlage für Forschung und Entwicklung oder Produktionsumgebungen. VARIAN XM 90 ist eine digitale, modulare Kammer, die ein hohes Maß an Kontrolle und Flexibilität bei der Abscheidung dünner Filme bietet. Das System verfügt über eine 500 mm x 500 mm große Kammer und besteht aus 5 Sputterquellen mit unterschiedlichen Zielgrößen von 10-60 cm. Es wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Materialien zu verarbeiten, einschließlich Metall, Keramik und organische Substrate. NOVELLUS XM-90 bietet eine Reihe von Optionen zur Prozessüberwachung und -optimierung. Es verfügt über eine automatisierte Gassteuerung für inerte und reaktive Gasanwendung, die eine präzise Steuerung des Plasmas ermöglicht. Darüber hinaus können Prozessparameter wie Druck, HF-Leistung und Temperatur angepasst werden, um Prozessparameter anzupassen. Die integrierte optische Maschine ermöglicht eine Echtzeit-Überwachung der Abscheidebedingungen und das Feedback-Tool mit geschlossener Schleife hilft, genaue Filme und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. Das Design von NOVELLUS/VARIAN XM-90 verfügt über einen schnell trocknenden Balg, der ein schnelles und einfaches Be- und Entladen von Proben ermöglicht. Es ist auch mechanisch kompatibel mit einer Vielzahl anderer VARIAN-Maschinen, einschließlich der XM 70, XP-6010 und XP-61000, so dass eine einfache Integration in eine bestehende Anlage. Darüber hinaus umfasst das Modell eine umfassende Sicherheitsverriegelung sowohl für den Bediener als auch für die Ausrüstung. XM-90 verfügt über einen computergesteuerten Prozesszyklus, der programmierbare Prozessparameter, Fernzugriff und automatisierte Rezept-Ausführung ermöglicht. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) wurde entwickelt, um eine einfache Kontrolle und Überwachung von Prozessrezepten zu ermöglichen. Darüber hinaus unterstützt die Steuerschnittstelle von VARIAN XM-90 ein verbundenes Netzwerk von Computern und kann einen Fernzugriff auf XM 90 ermöglichen. Insgesamt ist NOVELLUS XM 90 ein fortschrittliches Sputtersystem, das sowohl für Forschungs- als auch Produktionsumgebungen entwickelt wurde. Mit seinen vielfältigen Optionen und Funktionen ermöglicht es eine präzise Steuerung und Optimierung von Prozessen für wiederholbare, hochwertige Folien. Darüber hinaus bietet das Gerät hervorragende Sicherheitsfunktionen, eine einfache Integration in eine bestehende Anlage und Fernzugriff. Daher ist NOVELLUS/VARIAN XM 90 eine ideale Wahl für Anwender, die eine zuverlässige und vielseitige Sputtermaschine suchen.
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