Gebraucht NRC / VARIAN 3115 #70870 zu verkaufen

NRC/VARIAN 3115 ist ein vollautomatisches Sputtervakuumsystem, das für hochpräzise Dünnschichtabscheidungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist weithin bekannt für seine hohe Leistung, Robustheit und sein benutzerfreundliches Design. Das System ist mit einer fortschrittlichen Rotationssputterpistole ausgestattet, die sowohl Leiter- als auch Isolator-Dünnfilme ablegen kann. Darüber hinaus werden SPS (Programmable Logic Controller) und Gebläsedrucksteuerung verwendet, die eine präzise Prozessüberwachung und Wartungs-Effizienz bieten. Die Kammer von NRC 3115 ist außergewöhnlich sauber und ermöglicht die Abscheidung von Dünnschichtschichten mit ausgezeichneter Reproduzierbarkeit und Gleichmäßigkeit. Es ist mit einem Zielhalter mit variabler Tiefe und in situ Drehzielausrichtung ausgestattet, die das Risiko von Klebezielen eliminiert. Der Vakuumspiegel ist stabil und während der Abscheidung wird die Druckregelung mit dem eingebauten Massenstromregler geregelt. VARIAN 3115 wurde entwickelt, um alle Arten von Sputterprozessen zu behandeln, einschließlich Dünnschichtabscheidung, ultradünne Filmschichten und Schichtabscheidungsprozesse wie Mehrschichtstapeln. Die Temperaturregelung erfolgt über ein Widerstandsheizelement, mit dem eine gleichmäßige Temperatur über das Sputter-Target bereitgestellt werden kann. Dies gewährleistet eine gleichmäßige und perfekte Abdeckung empfindlicher Materialien. Sputtermenge und Zusammensetzung der Dünnschichtschichten können durch Einstellung der Prozessparameter exakt auf innerhalb von +/- 0,5% gesteuert werden. Die Dickenregelung kann einfach mit einem optischen Pyrometer oder einem Ellipsometer durchgeführt werden. Die große Kammergröße von 3115 macht zusammen mit der kontinuierlichen Prozessüberwachung die Herstellung von Großbauteilen relativ mühelos. NRC/VARIAN 3115 ist ein wertvolles Werkzeug bei der Herstellung von Vakuumkomponenten, und mit seinem breiten Spektrum an Merkmalen und Leistungsparametern ist es in der Lage, eine Vielzahl von Sputterprozessen erfolgreich zu handhaben. Sein zuverlässiges und benutzerfreundliches Design macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für qualitativ hochwertige Dünnschichtabscheidungsanwendungen.