Gebraucht NRC / VARIAN 3117 #126817 zu verkaufen
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ID: 126817
Auto evaporator
Stainless steel bell jar
Viewports
ASA flange on top
Motor hoist
Stainless stell base plate
Aluminum solid body
Air gate
Liquid N2 trap
Diffusion pump
Manual controls
Variac 2 kVa
Optical monitor with head
WELCH 1397 mechanical pump.
NRC/VARIAN 3117 Sputterausrüstung ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges Sputterwerkzeug für die effiziente Abscheidung von dünnen Folien. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien wie Metalle, Oxide, Nitride und Aerogele abzuscheiden. Dieses System nutzt eine Kombination aus drei Prozessen: Verdampfung, Ionenbeschuss und Sputtern. Es verfügt über zwei völlig unabhängige Kammern mit einer von drei Magnetronkonfigurationen: Magnetron, Titan oder indirekt. Die Einheit enthält auch zwei HF-Quellen für Verdampfung und Sputtern, so dass die Abscheidung mit hohen Abscheidungsraten und erhöhte Gleichmäßigkeit. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine 4 "-Lastverriegelungsfähigkeit und eine Probentrommel in beiden Kammern, die einen schnellen und einfachen Probentransfer und -beladen ermöglicht. NRC 3117 ist mit einem Ultrahochvakuum-Werkzeug mit einem Basisdruck von 10-6 Torr ausgestattet, garantiert überlegene Dünnschichtqualität und Gleichmäßigkeit. Die HF-Quellen können zur Steuerung der Frequenz, des Leistungspegels und der Pulsmodulation verwendet werden, was eine Feinabstimmung der Abscheidungsparameter ermöglicht. Das Asset verfügt außerdem über eine PC-Steuerschnittstelle zur Überwachung und Einstellung von Bedingungen sowie ein einstellbares Gasverteilungsmodell mit Massenstromreglern (MFC) zur Einstellung einer Vielzahl von Prozessparametern. VARIAN 3117 verfügt über eine einfach zu bedienende HF-Sputter-Drehkragen-Ausrüstung, die eine präzise Steuerung des Winkels von gesputtertem Material ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das System über eine eingebaute elektrische Hochspannungssicherheitseinheit, die die Spannung an der Quelle überwacht und potenziell gefährliche Situationen verhindert. Die Maschine enthält auch eine Reihe von Zubehör wie ein Proben-Sockel für sichere Handhabung, widerstandsfähige Heizelemente für die Erwärmung von Proben und eine Auswahl von mehreren magnetischen und inerten Gasquellen für eine verbesserte Kontrolle der Folieneigenschaften. 3117 ist ein benutzerfreundliches Tool mit intuitiver Bedienungssoftware und einer Vielzahl von Funktionen, die die Bedienung vereinfachen. Die hochpräzisen Abscheidungstechniken, das niedrige thermische Budget und die zuverlässige Bauqualität machen es zu einer guten Wahl für eine Vielzahl von Abscheidungsanwendungen. NRC/VARIAN 3117 ist ein ideales Werkzeug, um dünne Filmstrukturen mit hohen Raten und gleichmäßigen Folien von höchster Qualität zu schaffen.
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