Gebraucht NRC / VARIAN 3117 #171831 zu verkaufen
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ID: 171831
Thermal evaporator
Diffusion pump with liquid nitrogen trap and mechanical pump
Large Bell Jar with implosion guard and electrically actuated hoist
No crystal monitor and no ion gauge meter.
NRC/VARIAN 3117 ist eine Sputteranlage, die in Dünnschichtabscheidungsprozessen verwendet wird. Es ist ein geschlossenes Gleichstromversorgungssystem und kann eine breite Palette von DC-Vorspannungen von 0V bis -700V erzeugen. Das Gerät verfügt über eine Reihe von Funktionen, darunter manuelle und automatische Sputtersteuerung, Hochdruck-DC-Sputtern, Hochgeschwindigkeitssputtern und Ultrahochgeschwindigkeitssputtern. Die Maschine kann auch für verschiedene Materialien konfiguriert werden, einschließlich Aluminium, Titan, Gold und Kupfer. Dieses Sputterwerkzeug arbeitet in einer Vakuumkammer, die mit einem Niederdruckgas, typischerweise Argon oder Stickstoff, gefüllt ist. Das Gas wird von einer Elektronenstrahl-Vakuumquelle erzeugt und von einem Gebläselüfter durch die Kammer zirkuliert. Dieses Gas hält eine stabile Atmosphäre innerhalb der Kammer und hilft auch, den Aufbau von Ablagerungen auf der Oberfläche der Kammerwände zu verhindern. Innerhalb der Kammer wird mit einem rotierenden Magnetron Ionen erzeugt, die dann der Probe zugeführt werden. Die Probe wird üblicherweise auf einen Substrathalter gelegt, der während des Sputterprozesses auf- und abbewegt und gedreht werden kann. Der Halter wird auch erhitzt, um sicherzustellen, dass die schichtweise aufgesputterten Materialien auf der Probe gut auf dem Substrat haften. Die Stromversorgung des Magnetrons kann entweder manuell eingestellt werden, oder es kann ein computergesteuertes Programm zur Automatisierung des Sputtervorgangs verwendet werden. In beiden Fällen wird der durch das Magnetron fließende Strom gemessen und zur Einstellung der Geschwindigkeit und Intensität des Ionenbeschusses verwendet. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Sputtervorgangs. NRC 3117 Sputtermittel bietet auch eine bequeme Möglichkeit, den Prozess zu überwachen. Eine integrierte Videokamera und ein Monitor bieten eine Echtzeitansicht des Sputterprozesses. Darüber hinaus ermöglichen integrierte Schaltungssoftware und Hardware genaue Messungen der Qualität des Abscheideprozesses. Insgesamt ist das Sputtermodell VARIAN 3117 für die präzise Abscheidung dünner Filme ausgelegt. Das Leistungsspektrum, die Flexibilität und die Überwachungsfähigkeit machen es zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Abscheideanwendungen.
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