Gebraucht NRC / VARIAN 3117 #293621573 zu verkaufen

NRC/VARIAN 3117 ist eine hochmoderne Sputteranlage zur effizienten Abscheidung von dünnen Folien und Membranen aus verschiedenen Materialien. Es kann verwendet werden, um verschiedene Arten von dünnen Schichten und Membranen herzustellen, wie solche aus Metallen, Halbleitern, Dielektrika und Polymeren. Das System besteht aus zwei Hauptkomponenten: der Sputterquelle und der Vakuumkammer. Die Sputterquelle ist ein starkes Magnetron mit drei planaren Magnetronen und zwei rotierenden Magneten, die ein intensives Magnetfeld erzeugen. Dieses Magnetfeld bewirkt eine Kaskade von energetischen Elektronen in der Quellkammer. Diese Elektronen bombardieren das Zielmaterial und stoßen Atome von seiner Oberfläche aus, wodurch eine neutrale Atomwolke entsteht. Diese Atomwolke oder Plasma wird dann in die Vakuumkammer übertragen, wo sie dünne Filme oder Membranen auf dem Substrat abscheidet. Die Vakuumkammer ist ein zylindrisches Edelstahlgefäß, das einen Grunddruck von 1 x 10-6 Torr oder niedriger erreichen kann. Es beherbergt einen Substrataufbau, Tragarme, eine manuell einstellbare Düse, Heizungen und Widerstände zur Temperaturregelung und andere Hilfskomponenten. Der Substrataufbau besteht aus einer rotierenden Substrathalterung, einer Drehzahl bis 1000 U/min und einem optionalen Waferhalter. Die Tragarme halten die Düse fest und der optionale Waferhalter bietet eine stabile Oberfläche für die Dünnschichtabscheidung. Die Temperaturregelung wird durch Heizungen und Widerstände im Substrataufbau erreicht. Darüber hinaus verfügt das NRC 3117-Gerät über ein umfassendes Bedienfeld zur Einstellung von Parametern, zur Überwachung der Leistung und zur Steuerung der Maschine. Das Panel besteht aus einer Prozessoreinheit, einer analogen Steuerkarte und einer digitalen Steuerkarte. Die Prozessoreinheit ermöglicht es dem Benutzer, Parameter wie Leistung, Zielmaterial und Abscheiderate einzustellen, während die analogen und digitalen Kontrollkarten die Leistung des Werkzeugs überwachen und regeln. Kurz gesagt, VARIAN 3117 ist eine zuverlässige Sputteranlage, die überlegene Präzision und Kontrolle bei der Herstellung von dünnen Folien und Membranen bietet. Es bietet eine effiziente Abscheidung einer Vielzahl von Materialien und sein ausgeklügeltes Bedienfeld ermöglicht es Benutzern, die Modellleistung zu überwachen und zu optimieren. Mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften und zuverlässiger Leistung ist 3117 eine ideale Wahl für die Herstellung von Dünnfilmen und Membranen.