Gebraucht NRC / VARIAN 3117 #3842 zu verkaufen
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ID: 3842
Filament evaporator
18" Diameter x 28" Pyrex bell jar
8" CTI Cryopump
CTI Compressor ion/TC gauge
Thickness monitor
Power supplies
Filament sources
2-Stage direct drive roughing pump.
NRC/VARIAN 3117 ist eine Hochleistungs-Sputterausrüstung zur Herstellung von Dünnschichtabscheidung auf einer Vielzahl von Substraten. Das System ist in der Lage, Abscheidungsraten von mehr als 500 Angström pro Minute und wird in der Halbleiterindustrie, sowie in der Optik, MEMS und Dünnschichtindustrie verwendet. NRC 3117 verfügt über eine optimierte gepulste DC-Sputter-Quelle mit einer Magnetron-Konfiguration. Diese Anordnung ermöglicht eine präzise kontrollierte Dünnschichtabscheidung mit gleichmäßiger Abdeckung auf Substraten. Das Gerät enthält auch eine einzige Sputterquelle, die für Gas- oder Schichtsputtern konfiguriert werden kann. VARIAN 3117 ist mit erweiterten Abscheidungssteuerungsfunktionen ausgestattet, wie die Fähigkeit, Abscheideraten zu überwachen und Anpassungen in Echtzeit vorzunehmen. Die Maschine ermöglicht auch eine präzise Steuerung der Filmmorphologie und der Verunreinigungen durch den einstellbaren Druck des Sputterziels. 3117 ist modular aufgebaut, was eine schnelle Montage und Bedienung ermöglicht. Das Tool ist auch mit erweiterten Diagnosefunktionen ausgestattet, die wertvolle Daten über die Leistung der Sputteranlage liefern. Eine Reihe von Automatisierungsmerkmalen wurden auch in das Design integriert, einschließlich automatischer Kassettenbeladung, Substratgrößenerkennung und Substratpositionierungsregler. NRC/VARIAN 3117 ist voll konform mit wichtigen sicherheitsrelevanten Standards wie NFPA-79 und CSA C22.2 No.14-91. Es ist auch in der Lage, Produktionsprozesse durch seinen Generator zu vereinheitlichen und zu validieren, um Funktionalität zu bedienen. NRC ist auch in der Lage, hochgenaue Ergebnisse zu liefern, auch wenn die Produktionsgeschwindigkeit erhöht wird. Insgesamt ist das NRC 3117-Modell eine leistungsstarke, effiziente Sputterausrüstung, die eine breite Palette von Optimierungsmöglichkeiten für eine konsistente Dünnschichtabscheidung auf verschiedenen Substraten bietet. Sein vielseitiges Design, gepaart mit seinen fortschrittlichen Diagnose- und Automatisierungsfunktionen, machen es für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen geeignet.
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