Gebraucht NRC / VARIAN 3117 #9160339 zu verkaufen

NRC/VARIAN 3117 ist eine großflächige Sputteranlage, die inerte Gase zur Materialabscheidung verwendet. Es verfügt über zwei Hochleistungs-Magnetron-Sputterköpfe, die auf einer zweiachsigen motorisierten Präzisionsstufe montiert sind. Jeder Kopf wird durch eine 5kW oder 20kW der Gleichspannungsleistung angetrieben, die bis zu 70mA bzw. 160mA des Ionenstroms erzeugt. Das System ist mit einer Multi-Gas-Fähigkeit zur Steuerung der Prozessatmosphäre mit bis zu 8 unabhängigen Gasen ausgestattet. Es enthält eine automatisierte digitale Prozesssteuerung mit vorprogrammierten Prozessrezepten für eine einfache Bedienung. NRC 3117 verfügt über eine große 60 cm x 40 cm große Hauptkammer mit integriertem Lastsperrmechanismus für einfache Probenbelastung. Dadurch können bis zu vier Targets gleichzeitig auf die beiden Sputterköpfe montiert werden. Die Einheit enthält auch einen 12 "drehbaren Substrathalter, der verschiedene Größen und Formen von Substraten aufnehmen kann. VARIAN 3117 verwendet eine anspruchsvolle Inertgasverteilungsmaschine auf Quarzbasis, um eine genaue und gleichmäßige Verteilung der Sputtergase in der gesamten Kammer zu gewährleisten. Dieses doppelgesteuerte Verteilerwerkzeug kann unabhängig betrieben werden oder zur Vermischung von Gasen verwendet werden, um die gewünschte Prozessatmosphäre zu erreichen. Der Druck in der Kammer wird mit den auf Genauigkeit kalibrierten Präzisionsmassenstromreglern überwacht und eingestellt. 3117 verfügt auch über eine in-situ Asset Monitoring-Funktion namens' Pulse Counts', die ein Indikator für die Gesamtleistung des Modells ist. Auch hat die Ausrüstung die Fähigkeit, bis zu 10 verschiedene Prozessrezepte zusammen mit detaillierten Diagnoseinformationen zu speichern. NRC/VARIAN 3117 Sputtersystem ist entwickelt, um maximale Erträge von großflächigen dünnen Folien für eine Vielzahl von Prozessen zu liefern. Mit seiner großen Kammer, einer präzisen Steuerung, vielseitigen Gassystemen und variabler Sputterkopfleistung kann er auf jeden spezifischen Abscheidungsbedarf zugeschnitten werden. NRC 3117 Sputtereinheit ist entworfen, um überlegene Leistung und langanhaltende Ergebnisse für viele Jahre zuverlässigen Service zu gewährleisten.