Gebraucht NRC / VARIAN 3177 #9144755 zu verkaufen

NRC/VARIAN 3177 ist eine physikalische Bedampfungsanlage, mit der dünne Filme auf Substraten gesputtert werden. Es besteht aus einem kleinen Modul bestehend aus einer Sputterkammer einschließlich der Gleichstromversorgung zur Erzeugung des Sputterprozesses, einer Pumpstation, der mechanischen Plattform und der Steuereinheit. Darüber hinaus umfasst das NRC 3177-System Komponenten zur Filmcharakterisierung und weitere erweiterte Funktionen. Das Sputterabscheidungsmodul ist dazu ausgelegt, Material von einem Target (typischerweise Metall oder Legierungen) mit einem Gleichstrom-Glimmentladungsverfahren auf das Substrat zu verdampfen. Die hier verwendete Gleichspannungsversorgung erzeugt mittels einer Glimmentladung aus dem Zielmaterial ein Plasmafeld, das bewirkt, daß die Zielatome beim Anziehen von Ionen auf das Substrat auf das Substrat ausgestoßen werden. Der Abscheidevorgang wird durch das verwendete Material, den Kammerdruck, die aufgebrachte Leistung und den Arbeitsabstand zwischen Target und Substratoberfläche geregelt. Die Pumpstation besteht aus einer Turbomolekularpumpe und einer mechanischen Pumpe, um das notwendige Vakuumniveau in der Sputterkammer aufrechtzuerhalten. Die Software-Steuereinheit überwacht und ändert das Gasdurchflussverhältnis, um den Kammerdruck zu steuern. Die mechanische Plattform beherbergt das Zielmaterial, den Substratträger und die Seitenlager. Die Targets sind typischerweise kreisförmig und bis zu 8 "im Durchmesser, und der Substratträger ist zur Aufnahme verschiedener Substratgrößen einstellbar. Die Plattform beherbergt auch einen erweiterten Probentemperaturregler, der es dem Benutzer ermöglicht, die Temperatur des Substrats genau zu steuern. Die Steuereinheit besteht aus einem Personalcomputer mit der Softwareschnittstelle, der für die Steuerung der verschiedenen Komponenten der Einheit zuständig ist. Es verfügt über eine intuitive Benutzeroberfläche, die es dem Benutzer ermöglicht, verschiedene Abscheidungsparameter entsprechend den gewünschten Eigenschaften des Films zu programmieren. Es bietet auch Tools für die Verwaltung und Archivierung von experimentellen Daten. VARIAN 3177 Sputtermaschine bietet hochwertige Dünnschichtabscheidung und ist leicht aufrüstbar, um die hohe Nachfrage der heutigen Dünnschichtgeräte zu erfüllen. Das Sputterverfahren eignet sich gut für die Abscheidung von Oxiden, Nitriden, reinen Metallen und Metalllegierungen und eignet sich somit für eine Vielzahl unterschiedlicher Anwendungen. Das Werkzeug ist zuverlässig, einfach zu bedienen und eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.