Gebraucht OCLI M1044 #293591854 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 293591854
Sputtering system
Vacuum chamber with (4) sputtering sources
(4) PFEIFFER Turbo molecular pumps with power suppliers
(2) ADVANCED ENERGY Pinnacle Ion gun, 12 kW
(3) DC Engines
(3) Drives
(6) DC Power supplies: (3+3) Master (20 kW) / Slave (10 kW)
(2) MDX Sparc-LE 20, Si target: (1+1) Master / Slave
(2) MKS 647B Multi gas controllers
(3) MAGNETRON Sputter cathodes
(20) Metal holders, 18 x 139 cm
(4) Silicon targets
(3) Niobium targets
Zirconium
HONEYWELL PLC
MKS Stabil-Ion Controller
GRANVILLE PHILLIPS Series 370 Vacuum sensor
GRANVILLE PHILLIPS Vacuum gauge
MKS Mass Flow Controller (100 to 1000 SCCM)
(2) Bias voltage sources
Bias voltage suppliers
VAT Gate and actuators
(3) MDX Display
(2) Pinnacle Display
(2) Computers
Monitor
Frame
Spare parts.
OCLI M1044 ist eine fortschrittliche Abscheidungsausrüstung, die bei der Herstellung fortschrittlicher mikroelektronischer Geräte verwendet wird. Dieses System ist in der Lage, qualitativ hochwertige Sputtern, und es kann in einer Vielzahl von Anwendungen verwendet werden, einschließlich optoelektronische, MEMS, und integrierte Schaltung (IC) Produktion. Das Gerät ist mit fortschrittlichen Komponenten gebaut und bietet hervorragende Leistung. Die Maschine besteht aus einer Magnetronsputterquelle, mit der ein dünner Materialfilm auf das Arbeitssubstrat aufgebracht wird. Die Quelle ist für überlegene Sputterergebnisse mit einem Zieldurchmesser von 2 bis 8 Zoll ausgelegt. Darüber hinaus ist das Werkzeug mit einer Temperaturregelung ausgestattet, um sicherzustellen, dass die Temperaturen während des gesamten Abscheidungsprozesses konstant bleiben. Die Anlage verfügt auch über einen drehbaren Substrathalter und HF-Unterstützung, die helfen, die höchste Qualität Abscheidungsergebnisse zu gewährleisten. Darüber hinaus ist M1044 mit einer Prozesskammer ausgestattet, die eine schnelle und einfache Installation und Wartung von Komponenten ermöglicht. Dies ist wichtig für eine schnelle und effiziente Produktion. Weitere Merkmale von OCLI- M1044 sind eine überlegene Abscheidungsrate, ausgezeichnete Gleichmäßigkeit, hohe Erträge und ein kleiner Fußabdruck. Es ist in der Lage, ein hohes Seitenverhältnis zu ätzen, und es kann auch verwendet werden, um nanoskalige Funktionen zu erstellen. Darüber hinaus verfügt das Modell über erweiterte Steuerelemente, mit denen Benutzer Prozessparameter anpassen können. M1044 ist eine fortschrittliche Ausrüstung, die ein qualitativ hochwertiges Produkt liefert. Seine erweiterten Komponenten und Funktionen ermöglichen es Benutzern, nanoskalige Funktionen schnell und präzise zu produzieren. Dies macht es ideal für eine Vielzahl von Anwendungen, einschließlich MEMS, fortschrittliche Optoelektronik und IC-Produktion. Das System ist zuverlässig, effizient und für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen gut geeignet.
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