Gebraucht OERLIKON / BALZERS / EVATEC Clusterline 200 #293800020 zu verkaufen

ID: 293800020
Wafergröße: 12"
Sputtering system, 12" (3) Process chambers: PC-1 (P-Layer) PC-2 (I-Layer) PC-3 (N-Layer).
OERLIKON/BALZERS/EVATEC Clusterline 200 ist eine Sputterausrüstung, die verwendet wird, um eine Vielzahl von Materialien mit einem dünnen Schutzfilm zu beschichten. Dieses System verwendet inerte Gase, die Kationen der abzuscheidenden Elemente auf das Substrat tragen, wo eine negative Ladung entsteht. Die Kationen werden dann zum Substrat hin beschleunigt, wodurch eine dichte, gleichmäßige und konforme Materialschicht entsteht. Sputtern wird in einer Vielzahl von Branchen verwendet, um Beschichtungsdienstleistungen wie elektrische Isolierung, Verschleißfestigkeit, Oberflächenstabilisierung, Verschleiß- und Korrosionsschutz, Adhäsion und Oberflächeneigenschaften und Lichtreflexion anzubieten. Diese Sputtereinheit weist mehrere Komponenten auf, darunter Vakuumpumpen und eine Evakuierungskammer, eine Zielbaugruppe, Ionenquelle und eine Elektroniksteuerungsmaschine. Die Vakuumpumpen evakuieren die Kammer, entfernen Verunreinigungen und Sauerstoff und erzeugen dann ein Vakuum, das zum Sputtern notwendig ist. Das Target zerlegt Metall- oder Metallverbindungen in Form eines flachen Targets. Eine Ionenquelle erzeugt Kationen, die durch die Kammer zum Substrat hin beschleunigt werden, um die gewünschte Beschichtung zu erzeugen. Schließlich dient ein Computersteuerungstool zur Überwachung und Steuerung des Prozesses. EVATEC Clusterline 200 wurde speziell entwickelt, um qualitativ hochwertige, reproduzierbare, industrielle Sputterprozesse anzubieten. Seine Prozessqualität wird durch den Einsatz innovativer Substrathalterkonstruktion erreicht, die Substrate bis 200 mm Größe aufnehmen kann. Darüber hinaus umfasst die Anlage einen horizontal rotierenden direkten Probenhalter für Einrichtungssputtern, ermöglicht schnellere Sputterraten und eine verbesserte Gleichmäßigkeit der Schichtdicke. BALZERS Clusterline 200 Sputtermodell ist eine effiziente und zuverlässige Ausrüstung für Beschichtungsmaterialien für eine breite Palette von Anwendungen. Die Robustheit und Vielseitigkeit des Systems bietet eine schnelle und zuverlässige schlüsselfertige Lösung für Forschungs- und Produktionsprozesse, die hochwertige Sputterergebnisse erfordern. Darüber hinaus machen seine fortschrittlichen Funktionen wie Mehrzonenbetrieb, automatische Substratpositionierung und Verwendung von inerten Gasen während des Sputterprozesses das Gerät nicht nur sehr zuverlässig, sondern auch benutzerfreundlich. Dies ermöglicht einen schnellen und sicheren Betrieb, der zu einem hohen Automatisierungsgrad führt. Schließlich bietet OERLIKON Clusterline 200 eine zuverlässige Beschichtung, die eine hochwertige Leistung gewährleistet.
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