Gebraucht OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9081784 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9081784
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2000
Load lock sputtering system, 6"
Process: TaN
Polycold set up for both chambers
12 wafers per run
Could run 4 targets
Computer and Windows 7 included
Cryo pump load chamber
Turbo main chamber
Currently de-installed
1999-2000 vintage.
OERLIKON/BALZERS LLS EVO ist eine Sputteranlage für den Einsatz bei der Herstellung elektronischer Bauteile. Es ist ein Werkzeug mit mittlerer Leistung und hoher Kapazität, das sich ideal sowohl für industrielle als auch für Forschungsanwendungen eignet. Das System bietet eine einfach zu bedienende Lösung für die Dünnschichtabscheidungsbedürfnisse moderner Unternehmen wie Passivierung, Metallisierung und Vakuumabscheidung. BALZERS LLS EVO ist darauf ausgelegt, ein hohes Maß an Flexibilität in Sputterprozessen zu bieten. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien abzuscheiden, einschließlich Metalle, Oxide und Dielektrika, und bietet auch eine Vielzahl von Sputtertechniken, um eine optimale Effizienz zu gewährleisten. Die Einheit besteht aus einer mehrzonigen Vakuumkammer für Sputterprozesse, einer computergesteuerten Steuerung zur präzisen Materialabscheidungssteuerung und einer fortschrittlichen Sputterzielbefestigungsmaschine für einen effizienten Zielaustausch. Neben der hohen Flexibilität und Leistungsfähigkeit bietet OERLIKON LLS EVO ein breites Spektrum an Funktionen wie automatisierte Prozesssteuerung, Hochleistungssputterfähigkeit, hochpräzise Feldemissionsrasterelektronenmikroskopie und leistungsstarke Datenanalysetools. Es ist auch für eine lange Lebensdauer konzipiert, mit mehreren Schritten für präventive Wartung wie regelmäßige Reinigung und periodische Sensorkalibrierung. Dies hilft, ein qualitativ hochwertiges Produkt mit gleichbleibenden Ergebnissen jedes Mal zu gewährleisten. Insgesamt ist LLS EVO ein robustes Sputterwerkzeug, das hochwertige Dünnschichtmaterialien herstellen kann. Es bietet die Flexibilität, eine breite Palette von Materialien und Techniken zu handhaben, und bietet auch fortschrittliche Funktionen wie computergesteuerte Prozesssteuerung, hochpräzise Feldemissionsrasterelektronenmikroskopie und leistungsstarke Datenanalyse-Tools. Mit seiner langen Lebensdauer und zuverlässigen Leistung ist OERLIKON/BALZERS LLS EVO ein perfektes Werkzeug für eine Vielzahl von Produktionsanwendungen.
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