Gebraucht OERLIKON / BALZERS LLS EVO #9208365 zu verkaufen

ID: 9208365
Load lock sputtering system.
OERLIKON/BALZERS LLS EVO ist eine hochentwickelte Sputterabscheidung, die in Industrie- und Forschungslaboren zur Herstellung von Dünnschichtbeschichtungen eingesetzt wird. Es bietet fortschrittliche Leistung durch eine Reihe von einzigartigen Funktionen und bietet eine erweiterte Kontrolle über die Abscheidung von Material auf dem Substrat. Das Grundsputtersystem besteht aus einer Vakuumkammer, wobei zwei separate Quellen physikalisch innerhalb der Kammer angeordnet und mit einer Stromversorgung verbunden sind. Die Quellen können entweder zylindrisch oder eben sein, mit einer Vielzahl von Quellmaterialien. Die Zufuhr zu den Quellen erfolgt durch Festkörperventile, die eine präzise Steuerung der Eingangsmaterialien ermöglichen. Die Kammer kann entweder unter Ultrahochvakuum oder unter einer Niederdruck-Reaktionsumgebung arbeiten. Dieses Merkmal bietet die Flexibilität, das gewünschte Material auf dem Substrat herzustellen. Die RF-Quelle von BALZERS LLS EVO ermöglicht die Herstellung von hochgleichmäßigen Beschichtungen, wodurch die Wahrscheinlichkeit von defekten Bereichen innerhalb der Materialien verringert wird. Dies wird erreicht, indem mittels eines Hochfrequenzsignals eine Resonanzfrequenz zwischen Anode und Kathodenoberfläche erzeugt wird. Diese Resonanz erhöht die Anzahl der ionisierten Partikel in der Kammer, was wiederum die Gleichmäßigkeit und Abscheidegeschwindigkeit erhöht. OERLIKON LLS EVO enthält auch eine patentierte Festkörper-Verschlusseinheit. Diese Maschine ist extrem schnell und ermöglicht eine präzise Pulssteuerung. Pulsing ermöglicht höhere Ionenpopulationen bei Spitzenleistung sowie die Fähigkeit, Abscheidungszyklen schnell zu starten und zu stoppen. Dies führt zu einer erhöhten Ionisation von Partikeln, was kürzere Abscheidezeiten und eine höhere Beschichtungsqualität ermöglicht. LLS EVO bietet auch schnellen und einfachen Waferwechsel und Handhabung. Mit einem außergewöhnlich präzisen zweiachsigen Aligner werden die Wafer zwischen Kammern bewegt. Dies ermöglicht eine präzise Substratplatzierung für eine optimale Abscheidung. In Kombination mit seinen fortschrittlichen Steuerungssystemen bietet OERLIKON/BALZERS LLS EVO ein äußerst vielseitiges Werkzeug zur Herstellung hochwertiger Dünnschichtbeschichtungen. Die Kammer ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien unter verschiedenen Belichtungsbedingungen mit niedrigen Defektraten herzustellen. Diese Ressource ist äußerst effizient und eignet sich hervorragend für den Einsatz in Produktionsanlagen sowie für Forschung und Entwicklung in Beschichtungstechnologien.
Es liegen noch keine Bewertungen vor