Gebraucht OXFORD Plasmalab 400 #9409150 zu verkaufen

OXFORD Plasmalab 400 ist eine hochmoderne Sputteranlage, die bei der Herstellung von Halbleiter- und Dünnschichtbauelementen eingesetzt wird. Dieses Hochleistungssystem bietet Anwendern eine breite Palette von qualitativ hochwertigen Optionen, einschließlich unterschiedlicher Zielorientierung, Prozesskonfiguration und Vakuumvorbereitung. Plasmalab 400 ist mit einzigartigen Basis- und Hochfrequenznetzteilen ausgestattet, die zusammenarbeiten, um die Konsistenz bei Sputterprozessen zu gewährleisten. Dieses Gerät kann mit bis zu 400 kW betrieben werden, so dass es für eine Vielzahl von Prozessen verwendet werden kann, einschließlich Hochleistungs-Lichtbogenspray, Standard-HF-Sputtern, gepulstes DC oder HF-Sputtern und stufengestimmte Substratheizung. Das Basisnetzteil liefert extrem niedrige DC-Leistung für die Inbetriebnahme und Abstimmung des Sputterprozesses. Dies wird auch für Ionenbeschuss und Ionensputterätzen verwendet. Das HF-Netzteil verfügt über einen Frequenzregelbereich von 400 kHz bis 60MHz, was bedeutet, dass es für eine Vielzahl fortgeschrittener Prozesse verwendet werden kann, einschließlich stufengestimmter Substratheizung und pulsierendem HF-Sputtern. OXFORD Plasmalab 400 hat eine robuste Kammerkonstruktion, die vier Magnetronkathoden aufnehmen kann, um eine höhere Leistungsdichte und Gleichmäßigkeit zu ermöglichen. Das innovative Lastschloß-Design bietet automatisch einen vakuumbarimetrischen Druck mit einstellbarem Maximaldruck. Auf diese Weise können Benutzer die Vakuumumgebung leicht ändern und die Kammerparameter ändern. Die Maschine bietet eine intuitive Benutzeroberfläche mit erweiterten Steuerungsfunktionen und kann über eine webbasierte Steuerungsplattform oder ein OxR-Framework bedient werden, das auf der objektorientierten Programmiersprache Python basiert. Diese Steuerungssoftware gibt dem Benutzer volle Kontrolle über Plasmaparameter, Werkzeugfunktionen und Prozesse. Schließlich enthält Plasmalab 400 eine eingebaute Sicherheitsverriegelung. Dies bietet Prozessüberwachungs- und Verriegelungsschutzfunktionen, um die volle Sicherheit beim Betrieb des Modells zu gewährleisten. Es verfügt auch über eine aktive Prozessüberwachungseinrichtung, die die Prozessparameter der Kammer überwacht, so dass der Bediener bei Fehlern oder Fehlern eingreifen kann.