Gebraucht PELCO 3 #159054 zu verkaufen

PELCO 3 ist eine Plasmasputteranlage, die speziell für das Plasmaätzen entwickelt wurde, wobei Argon die verwendete Sputtergasquelle ist. Plasmaätzen ist ein Verfahren, das das Prinzip des Ionenbeschusses verwendet, um die Oberfläche eines Substrats zu modifizieren. Dieses Sputtersystem umfasst eine Vakuumkammer, einen Gaskasten, eine Plasmakammer und eine Substratstufe sowie mehrere Zubehörteile. Innerhalb der Vakuumkammer wird das Argon-Gas eingeleitet und der Druck durch die daran angeschlossene Vakuumpumpe auf Vakuumniveau reduziert. Das Gas wird dann in die Plasmakammer transportiert, wo es mit einer Hochfrequenz (HF) -Leistung angeregt wird. Diese Energie regt die Gasmoleküle unter Bildung eines Plasmas an oder ionisiert sie. Das Plasma zerlegt die Gasmoleküle und erzeugt eine atomare oder molekulare Fraktion der Argonatome auf hohem Energieniveau. Die angeregten Argonatome und Moleküle bewegen sich mit hoher Geschwindigkeit und bombardieren die Zieloberfläche und induzieren eine Materialabscheidung. Das zu behandelnde Substrat wird in der Kammer auf eine Substratstufe gelegt, deren Oberfläche dem Plasma ausgesetzt ist. Anschließend wird die Targetoberfläche gesputtert und geätzt, wodurch eine Dünnfilmschicht entsteht. 3 Einheit ist mit mehreren Funktionen ausgestattet, die es für den Einsatz mit einer Vielzahl von Anwendungen geeignet machen. Diese Eigenschaften umfassen eine breite Palette von programmierbaren Parametern, wie Druckregelung, Gasflussregelung, Gasverbrauch, Gasspülung und Substrattemperatur, so dass eine sehr feine Kontrolle der gesamten Maschine. Darüber hinaus verfügt PELCO 3 über ein Auto-Detektionswerkzeug, das erfassen kann, wann das Substrat auf seiner Bühne platziert wird und einen entsprechend programmierten Betrieb ermöglicht. Es verfügt außerdem über ein integriertes Sicherheitselement, mit dem das Modell im Falle eines unerwarteten Ereignisses, z. B. eines Stromausfalls, heruntergefahren werden kann, um sicherzustellen, dass die Geräte sicher verwendet werden können. 3 Sputtersystem ist für einfache Verwendung und zuverlässige Ergebnisse konzipiert. Die Hauptkomponenten, wie die Vakuumkammer, die Plasmakammer und die Substratstufe sind alle vormontiert, was die Rüstzeit reduziert und die Wartung erleichtert. Die gesamte Einheit ist auch drahtlos angeschlossen, so dass Benutzer die Maschine von einem entfernten Ort aus steuern und überwachen können, was die Betriebseffizienz verbessert. Insgesamt ist das PELCO 3 Plasmasputterwerkzeug sehr zuverlässig und einfach zu bedienen. Seine Eigenschaften und Zubehör machen es für eine breite Palette von Anwendungen geeignet, so dass es ideal für Dünnschichtbeschichtung und Ätzen.