Gebraucht PERKIN ELMER 2400-6J #35438 zu verkaufen

PERKIN ELMER 2400-6J Sputterausrüstung ist ein vielseitiges, hochpräzises Werkzeug für die Dünnschichtabscheidung. Seine Leistung und Präzision machen es zu einer idealen Wahl für Dünnschichtanwendungen wie optische Dünnschichtbeschichtungen, MEMS und Rasterelektronenmikroskop (SEM) -Chipverarbeitung und Waferwaagen-Verbindungen. Dieses Sputtersystem ist für die Abscheidung von Metallen, einschließlich Aluminium, Chrom, Tantal und Wolfram, sowie Oxiden und Nitriden dieser Metalle ausgelegt. Der modulare Aufbau von 2400-6J ermöglicht Vielseitigkeit bei der Optimierung von Dünnschichtabscheidungsprozessen, um spezifische Anforderungen zu erfüllen. Sie umfasst eine Hochleistungskammer, die bis zu 8, 24 oder 48 Wafer gleichzeitig verarbeiten kann. Mit dieser Hochleistungseinheit können auch mehrere Schichten in einem Prozess auf ein einzelnes Substrat gesputtert werden. Die in dieser Maschine enthaltenen Hochleistungs-, Mehrfachmagnetron- und planaren Sputterquellen bieten gleichmäßige und schnelle Abscheideraten von dünnen Filmen. Das Tool verfügt über eine einfach zu interpretierende grafische Benutzeroberfläche, die es benutzerfreundlich macht, mit mehreren Fenstern, die umfassende Prozesskontrollpakete bieten. Eine Reihe von voreingestellten Rezepten ermöglicht eine einfache Einrichtung und Wiederholbarkeit der Ergebnisse. Das Asset ist auch in der Lage, die Sputterparameter in Echtzeit zu überwachen und zu steuern, was eine schnelle Prozessoptimierung ermöglicht. Das Modell verfügt über eine Reihe von KEs, die den effizienten Betrieb des Sputterprozesses fördern. Dazu gehört eine Gasmanagementeinrichtung, die ein effizientes Management der zur Abscheidung verwendeten reaktiven und nicht-reaktiven Gase ermöglicht; ein Vakuummanagementsystem, das mehr kontrolliertes, erhöhtes Vakuum ermöglicht; und eine automatisierte Wafer-Handhabungseinheit, die ein einfaches und schnelles Wafer-Be- und Entladen ermöglicht. Um ein Höchstmaß an Reproduzierbarkeit und Wiederholbarkeit zu gewährleisten, verfügt PERKIN ELMER 2400-6J über eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Dazu gehören ein Übertemperatur-Sicherheitsschalter, automatischer Verriegelungsvorgang und Überwachung der Kammertemperatur und des Drucks. Diese Maschine hat auch eine Reihe von Post-Prozess-Kontrollen, wie Messung der Kristallorientierung Gleichmäßigkeit, Oberflächengüte und Glätte. 2400-6J ist eine ideale Lösung für diejenigen, die ein hochpräzises Sputterwerkzeug benötigen, das qualitativ hochwertige Dünnschichtabscheidungsprozesse ermöglicht. Sein vielseitiges Design und seine intuitive Steuerung sowie seine Sicherheits- und Nachkontrollfunktionen machen es zur perfekten Wahl für Anwendungen von optischen Dünnschichtbeschichtungen bis hin zur MEMS-Verarbeitung und mehr.