Gebraucht PERKIN ELMER 2400 #42887 zu verkaufen
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ID: 42887
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6"
Sputters down
(3) Diameter RF targets for metals / Dielectrics, 8"
Ion / Dual TC gauge
DC Power supply
(2) RF Power supplies
(8) CTI Cryopumps
CTI 8 Cryopump with compressor
ENI OEM 12B RF Power supply, 12 kW
MATT VAC 5 kW DC Supply with pulse option
Soft etcher
LEYBOLD D30A Dual stage mechanical pump
Direct drive mechanical pump
With spinning ring holds up to wafer 6"
DC Power supply.
PERKIN ELMER 2400 ist ein Sputtergerät, das fortschrittliche Sputtergeräte mit einer intuitiven Benutzeroberfläche kombiniert. Das System verwendet eine Kombination aus Gleichstrom (DC) und Hochfrequenzquellen (RF), um Schichten aus leitfähigem und isolierendem Material auf einem Substrat abzuscheiden. Durch Variation der Menge und Art des zu zerstäubenden Materials und der Zielumgebung können verschiedene Filmtypen auf verschiedenen Substraten wie Glas, SiO2, GaP und Diamant hergestellt werden. 2400 verfügt über eine leistungsstarke, eng gekoppelte Magnetron-Sputterquelle zur Abscheidung hochgleichmäßiger Schichten mit ausgezeichneter Haftung. Die Quelle verfügt über eine unabhängige Sputterquelle und eine Ambosspistole auf einer mechanisch einstellbaren Basis, die den optimalen Winkel der Source-to-Substrat-Übertragung ermöglicht. Die Ambosspistole ermöglicht die präzise Zuführung von gesputtertem Material, mit Gleichmäßigkeit über das Substrat und Eigenschaftsgrößen bis zu 8 Mikrometer erreichbar. PERKIN ELMER 2400 verwendet eine hochpräzise Roboterstufe zur Substratmanipulation. Dadurch können Benutzer ihr Substrat genau bewegen und positionieren sowie den Winkel und Abstand des Substrats von der Quelle anpassen. Dadurch wird eine qualitativ hochwertigste Beschichtung erreicht und gleichzeitig die Zeit für die Beschichtung eines Substrats verkürzt. 2400 ist extrem einfach zu bedienen. Seine benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) bietet eine bequeme Möglichkeit zur Steuerung der Geräteparameter sowie die automatische Erstellung und Verwaltung von Rezepten. Die Maschine ist auch mit einer Vielzahl von Vakuummessgeräten und Monitoren ausgestattet, die den Kammerdruck messen und die Prozessbedingungen überwachen können. Insgesamt ist PERKIN ELMER 2400 ein leistungsstarkes Sputterwerkzeug, das für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann. Es ist mit einer fortschrittlichen Sputterquelle und einer intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet, die es Anwendern ermöglicht, schnell und zuverlässig Schichten aus leitfähigem und isolierendem Material mit exakter Steuerung auf ihre Substrate abzulegen. Darüber hinaus verfügt die Anlage über eine hochpräzise Roboterstufe zur präzisen Substratpositionierung sowie eine Reihe von Vakuummessgeräten und Monitoren zur kontinuierlichen Prozessüberwachung.
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