Gebraucht PERKIN ELMER 2400 #9140537 zu verkaufen
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PERKIN ELMER 2400 ist eine Sputteranlage, die hauptsächlich im Bereich der Materialwissenschaft eingesetzt wird. Es ist ein leistungsstarkes, vielseitiges und kostengünstiges Werkzeug zum Abscheiden von dünnen Schichten auf einem Substrat. Das System umfasst ein kompaktes Gehäuse mit einer Multitarget-Sputterquelle, einer Vakuumkammer, einer kryogen gekühlten Substratstufe, einem variablen Druckgaskasten und einem Sputtergaskasten. Die Vakuumkammer bietet eine Reihe von Druckniveaus und bis zu sechs gepulste Abscheidungsquellen. Die kryogen gekühlte Substratstufe kann Substrate im Bereich von 75x75mm bis 200x200mm aufnehmen. Der Sputterprozess beginnt mit der Evakuierungs-/Ausgasungsphase. Dabei wird die Kammer zur Abscheidung auf einen Druck von etwa 10-4 Torr heruntergepumpt. Anschließend wird das Substrat mit einer Widerstandswärmestufe auf die gewünschte Temperatur aufgeheizt und das Sputtergasgemisch über den Gaskasten der Sputterquelle zugeführt. Dieses Gas wird mit einer Reihe von schnellen Gleichspannungsimpulsen in die Kammer gepulst. Diese Impulse erzeugen hochenergetische Partikel, die zur Sputterabscheidung verwendet werden. Schließlich werden die Ziele in der Einheit mit Inertgas implantiert, ionisiert und mit einer Spannung von bis zu 10 Killovolt bombardiert. Dieses Bombardement erzeugt eine Dusche von energetischen Partikeln, die Material vom Ziel sputtern und sich auf der Substratoberfläche ablagern. Das zerstäubte Material bleibt typischerweise innerhalb mehrerer Mikrometer der Oberfläche stehen, kann aber je nach Anwendung maßgeschneidert werden. 2400 können eine Vielzahl von dünnen Filmen abscheiden, einschließlich Nitride, Oxide, Karbide, Metalllegierungen und dielektrische Filme. Das gesamte Sputtern wird unter einer kontrollierten Umgebung durchgeführt, in der die Prozessparameter konstant sind und eine genaue Kontrolle der Schichtdicke und Zusammensetzung ermöglichen. Diese Maschine ist auch kompatibel mit in situ und ex situ Analysetechniken, einschließlich verschiedener Formen der Elektronenspektroskopie und Mikroskopie. PERKIN ELMER 2400 ist ein ideales Werkzeug für die Abscheidung von dünnen Filmen in Forschungseinrichtungen, da es eine präzise Steuerung und eine breite Palette von Kompatibilität bietet. Diese fortschrittliche Sputteranlage ist einfach zu bedienen, zuverlässig und kostengünstig, so dass es eine ideale Wahl für alle, die ein qualitativ hochwertiges Sputtermodell suchen.
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