Gebraucht PERKIN ELMER 2400 #9215991 zu verkaufen
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ID: 9215991
Sputtering system
With load lock
Platen optimum, 4.5"-8"
Gun, 2"-3"
With PLC control
PLC / PC With data logging
W-10
Remote access
Load lock reduces pump down time
Anode / Cathode spacing remotely adjustable
Heat / Cool substrate table
Automated for high production throughput
Optional heat / Cool table: 600° With rapid cool down
(3) Cathodes diameter, 8"
Round targets, 8”
Vacuum station: Turbo molecular / Diffusion-pump
Tuning: Randex Servo-match automatic tuning
LEYBOLD 450 Turbo pump
No mechanical pump
No RF generator
Substrate table:
Water-cooled, 8" diameter
Etch / Bias operations:
Up to 1 kW Etch
Variable bias: 0 to 50%
Shutter:
Stainless steel cup
Vertical and radial adjustment
Control & meters:
Manual override toggle switches for load and tune controls
Target selector
Mode selector
Shutter position switches
Bias adjust potentiometer
RF Power adjust control
RF Power ON / OFF push button
Table bias
Forward power
Reflected power meter
RF Power supply: 1 & 2 kW Controlled remotely from sputtering module.
PERKIN ELMER 2400 ist eine High-End-Sputterausrüstung zum Aufbringen dünner Schichten aus sputterbarem Material auf ein Substrat. Es ist in der Lage, dünne gleichmäßige Beschichtungen mit hohen Abscheidungsraten herzustellen und kann für verschiedene Anwendungen wie optische, oberflächenempfindliche und magnetische Geräte verwendet werden. Das System bietet durch seine Zwei- und Vier-Quellen-Systeme fortschrittliche Sputter-Beschichtungsfähigkeiten, die je nach Art des aufgebrachten Materials separate Konfigurationen verwenden. In beiden Fällen verwendet das Gerät eine Hochvakuumplattform mit hohem Durchsatz, die eine ultradünne Schichtabscheidung ohne übermäßige Erwärmung oder Oxidation ermöglicht. 2400 verwendet einen automatisierten Prozess, der präzise wiederholbare Beschichtungen von 20 Angström (A) bis 5000 A ermöglicht. Die Maschine verfügt über eine Auswahl von zwei oder vier Sputterquellen, von denen jede individuell eingestellt werden kann, um eine größere Kontrolle über den Abscheidungsprozess zu gewährleisten. Es verfügt auch über eine integrierte Inertgasatmosphäre, die ein Argon oder anderes Edelgas enthält, um eine konsistente Ladung statt Umgebungsluft aufrechtzuerhalten. Das Tool verfügt auch über erweiterte Kontrollen zur Überwachung und Regelung von Prozessparametern wie Temperatur, Gasgemische und Leistungsstufen. Die Vier-Quellen-Konfiguration ermöglicht es dem Anwender, leicht zwischen verschiedenen zerstäubbaren Materialien während eines einzigen Beschichtungsprozesses zu wechseln, wodurch er Zugang zu der breiten Palette möglicher Beschichtungszusammensetzungen erhält. In der Substratverarbeitung kann PERKIN ELMER 2400 sowohl ebene als auch gekrümmte Substrate mit verschiedenen Formen und Größen aufnehmen. Mit seiner verstellbaren und leicht abnehmbaren Glockendichtung sorgt das Asset für einen gleichmäßigen Materialfluss und gleichmäßige Dünnschichtergebnisse. Neben der Sputterbeschichtungsfunktionalität bietet 2400 auch erweiterte analytische Funktionen wie Röntgenfluoreszenz (XRF) und Auger Electron Spectroscopy (AES). XRF scannt die Oberfläche einer Probe nach chemischen Zusammensetzungen, während AES Fingerabdrücke molekularer Strukturen innerhalb der Oberfläche des Beschichtungsmaterials liefert. Beide ermöglichen es Forschern, weitere Untersuchungen durchzuführen und gegebenenfalls ihre Abscheidungsparameter anzupassen. Insgesamt wurde PERKIN ELMER 2400 entwickelt, um die ultimativen Beschichtungslösungen für Forschungseinrichtungen, Labore und andere industrielle Anwendungen bereitzustellen, sodass Benutzer Dünnschichtmaterial für verschiedene Projekte leicht ablegen können. Mit seinen automatisierten Steuerungen, einer Vielzahl von Einstellungen und erweiterten Analysefunktionen ist das Modell eine zuverlässige und vielseitige Sputterausrüstung, die die Anforderungen jeder experimentellen oder Entwicklungsumgebung erfüllen kann.
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