Gebraucht PERKIN ELMER 4400 #9201790 zu verkaufen
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ID: 9201790
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6"
Wafer loading: Manual
With load lock
Cathodes: Circle shape, 8″ & 4 max
Sputter methods: RF / DC
Diode / MAGNETRON
Gas lines: 1~3 MFC
Options:
Gas lines with MFC
N2
O2
Customized
Lamp tower alarm with buzzer:
Mechanical pump / Dry pump for process chamber and load lock
Independent mechanical pump / Dry pump for process chamber
Chiller for cooling plates and table
Turbo pump for load lock
Load lock lamp heating function: Up to 200°C
Chamber lamp heating function: Up to 300°C
Plasma etch function
Bias function
Co sputter function
Reactive sputter function
Main frame
28" Diameter SST chamber top plate with ports and cathodes:
Configuration 4400 4410 / 4450
Cathode shape Circle Delta
Cathode size 8" Delta
Cathode quantity 1 to 4 1 to 3
Sputter power supply:
4400 4410 / 4450
DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
RF Power 1kW / 2kW 2 kW / 3 kW
Pulse DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
Process chamber:
8" Diameter x 12" High stainless steel cylinder with 6"
CF Flange view port and load lock port
28" Diameter stainless steel base plate
11/2" Air operated roughing isolation valve
Air operated gas inlet valve
Air operated vent valve
11/2" Blanked-off leak check port
Removable deposition shields
23" Diameter, 3-position water cooled annular substrate
Table with variable speed motorized table drive
Full circle shutter and vane shutter
Chain drive pallet carrier transport
Heavy duty electric hoist
Load lock:
30" x 28" x 8" Stainless steel load lock chamber
Aluminum cover
Chain drive pallet carrier transport
2" Air operated roughing isolation valve
Air operated vent valve
23" Diameter molybdenum annular substrate pallet
Elevator for pallet up and down function
Vacuum systems for process chamber:
(2) Stage cryo pumps
With 1000 l/s pumping speed for air
Includes:
Chevron
Water cooled compressor and lines
Automatic regeneration controller
Plumbing kit, 71/2"
Aluminum air operated gate valve: 6" ASA
Air operated venetian blind throttling valve
Mechanical pump or dry pump for process: 36.7 Cfm
Chamber and load lock
Replaced obsolete controls:
Auto pump down controller
Load lock controller
Digital clock timer
Table raise / Lower control
Throttle valve control system
Pressure control system
Sputter head controls
Gas line with MFC
Ar, 200 SCCM, customized
Power box: AC 380 V / 208 V / 3 Phase.
PERKIN ELMER 4400 ist eine hochmoderne Sputteranlage, die zu einem gängigen vielseitigen Werkzeug für die Dünnschichtvakuumabscheidung geworden ist. Dieses Sputterwerkzeug ist ein Multi-Source-System, mit dem jedes metallische oder dielektrische Material in seiner Drei-Kammer-Konstruktion mit seinem maßgeschneiderten Endlager-Waferhalter gesputtert werden kann. 4400 kann Präzisionsabscheidungsdicke bis zu 1 Angström und Dünnschichtgleichförmigkeit bis zu 1 Nanometer erreichen. Diese Präzisionsmessung wird mit dem patentierten Kupferzielschutzverfahren ermöglicht, das auch die Prozesswiederholbarkeit sowie lange Zyklusproduktionszeiten gewährleistet. Die Verwendung der dichten Magnetron-Technologie TRIO-MIM ^ TM garantiert die Nichtverschmutzung der Kammer beim Abscheiden der Dünnschichtmaterialien. Die dichte Magnetron-Technologie TRIO-MIM ^ TM erwärmt das Sputterziel und damit wird zusätzliches Potenzial zur Variation von Prozessparametern geöffnet. Dies ermöglicht die Durchführung von hochdichten, hochleitfähigen Filmen sowie komplexeren organischen Materialien, die während der Abscheidung eine höhere Substrattemperatur erfordern. PERKIN ELMER 4400 ist eine zuverlässige und einfach zu bedienende Einheit. Diese Sputterausrüstung bietet Flexibilität in Bezug auf die Größe des Waferhalters und die Fähigkeit, die Sputterparameter mit Echtzeit-Software-Steuerung für mehr Prozessgenauigkeit einzustellen. Die Maschinenkalibrierung kann problemlos mit der integrierten Auto-Kalibrierungsfunktion durchgeführt werden. Es ist auch ein robustes Werkzeug für den UL-zertifizierten Betrieb in Produktionsumgebungen. Zusätzlich zu den allgemeinen Abscheidungsanwendungen werden 4400 häufig bei der Erstellung fortschrittlicher Gerätekomponenten verwendet. Es implementiert mechanisches Polieren von Substraten, um glatte Oberflächen zu gewährleisten, während der Sputterprozess feine Mikroskalenmerkmale auf den Geräten erzeugt. PERKIN ELMER 4400 ist eine zuverlässige und effiziente Sputteranlage und bietet Teil- und Vollkammersputtersputterungen mit optionaler In-situ-Abscheidung und Glühen. Die Eigenschaften des Modells ermöglichen die Herstellung von dünnen Schichten höchster Qualität bei gleichzeitiger Kontrolle der Produktionskosten.
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