Gebraucht PERKIN ELMER 4400 #9242647 zu verkaufen

Hersteller
PERKIN ELMER
Modell
4400
ID: 9242647
Sputtering system (4) Targets with cryo.
PERKIN ELMER 4400 ist eine Sputteranlage, die eine breite Palette von Materialien auf verschiedenen Substraten wie Halbleitern, Isolatoren und Metallen abscheidet. Mit diesem System können Anwender exakte Schichten spezifischer Dicken für die Entwicklung anspruchsvoller Nanostrukturen erstellen. Darüber hinaus kann es auch zur Herstellung von Mehrstoff- und Mehrschichtgeräten verwendet werden. Dieses Gerät ist mit zwei E-Beam Geschützen für Substratheizung und Verdampfung ausgestattet. 4400 verfügt über hochpräzise Prozesssteuerungsfunktionen. Es bietet eine breite Palette von Prozessen wie Hochleistungs-DC-Sputtern, reaktives Sputtern und DC-Sputtern mit niedriger Leistung. Die Dicke der Folie kann durch die Prozeßregelparameter sowie die Betriebsparameter während des Sputtervorgangs genau gesteuert werden. Es bietet auch eine Reihe von Standardrezepten, um wiederholbare und zuverlässige Ergebnisse zu gewährleisten. Das Design von PERKIN ELMER 4400 besteht aus einer zylindrischen Kammer mit flachen Ebenen für Lastverschlusstüren. Die Maschine bietet eine Ladekapazität von einem einzelnen 3-Zoll-Wafer diagonal bis zu einem 300mm-Wafer. Innerhalb der Prozesskammer befindet sich eine Magnetronquelle und eine Hochleistungskopplung zur effizienten Beschichtung von Substraten. Das Werkzeug enthält auch programmierbare Rotatoren, die eine Drehzahl von bis zu 4000 U/min erreichen können. Dies hilft, dünne Filme räumlich gleichmäßig auf großen Substraten abzuscheiden. Dieses Feature bietet außerdem eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit und Wiederholbarkeit. 4400 Asset nutzt auch eine optische Emissionsspektroskopie zur Erkennung von Verunreinigungen, Einschlüssen und Ungleichmäßigkeiten in der Schicht. Dies hilft, die Materialabscheidungsrate, Dicke und Zusammensetzung der Folie zu messen. Die Temperatur in der Prozesskammer wird durch integrierte Sensoren überwacht und die Stickstoffspülregelung sorgt für einen sauberen Abscheidehintergrund. Das Modell bietet zudem eine robuste Motorsteuerung auf MFC-Basis. Die Ausrüstung verfügt über eine einfach zu bedienende GUI, um die verschiedenen Komponenten wie Rotator, Tür, Antrieb, Stromquelle und Kühlsystem zu steuern. PERKIN ELMER 4400 wurde entwickelt, um zuverlässig und effizient für eine Vielzahl von Anwendungen zu sein. Es ist auch mit einer langlebigen Konstruktion entworfen, um langlebige Leistung zu gewährleisten.
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