Gebraucht PERKIN ELMER 4400 #9283424 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9283424
Sputtering system
PLC Upgrade
(3) RF Diode target assemblies
Etch
Table motor: Encoder for accurate and repeatable positioning
Power supplies
Cryopump
RF Power supply: 1200 W
Chambers:
Upgraded chamber and frames
No alignment
Table:
Upgraded motors
No realign wafer transfer
Ferrofluidic table assembly
Target assembly:
Magnet for higher utilization of targets cathode, 8"
INSTRUTECH Direct feed to PLC
Air manifold: Modular connections
Touchscreen:
Display
Interface: OPTO 22
INTEL Computer.
PERKIN ELMER 4400 ist ein Sputtergerät zur Dünnschichtabscheidung. Es ist eine Mehrzweck-Sputterstation, die verwendet werden kann, um eine Vielzahl von Materialien, wie Metalle, Legierungen, Keramik und Polymere abzuscheiden. Es ist ideal für die Herstellung von hochwertigen optischen, elektrischen und Halbleiterbeschichtungen auf einer Reihe von Substraten. Das System verfügt über zwei unabhängige Hochvakuumkammern, die eine gleichzeitige Abscheidung auf zwei verschiedenen Substraten ermöglichen. Das Gerät kann mit Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 8 "arbeiten und ultradünne Filme mit einer Dicke von 0,5 nm bis zu 2 µm erzeugen. Optimale Vakuumniveaus können schnell und einfach erreicht werden, und die rotierenden kreisförmigen Kathoden gewährleisten eine gleichmäßige Abscheidung über großflächige Substrate. 4400 ermöglicht die Erstellung extrem präziser und gleichmäßiger Dünnschichten mit DC-Magnetron-Sputtersystemen. Die beiden unabhängigen Netzteile, die bis zu 2000 Watt Gesamtleistung produzieren können, ermöglichen eine genaue Kontrolle der Abscheideraten. Mit dem einstellbaren Sekundärelektronenstrom (SEC) kann eine hohe Prozesssteuerung erreicht werden, die eine Feinabstimmung des Sputterprozesses ermöglicht. Die eingebaute Display-Feedback-Maschine bietet sofortige Messrückmeldung auf wichtige Parameter wie Gesamt-Ionenstrom, SEC-Strom, Wafer-Detektor, Zielhaltertemperatur und Substrattemperatur. Der integrierte Controller bietet auch eine genaue Kontrolle über Vorspannungen, Verschluss und Schließen, Gaseinlass und mehr. Abschließend ist PERKIN ELMER 4400 ein fortschrittliches Mehrzweck-Sputterwerkzeug, das verwendet wird, um hochwertige dünne Folien für eine Vielzahl von Anwendungen zu erstellen. Seine zwei unabhängig angetriebenen Kammern, eingebaute Display-Rückkopplung, einstellbarer SEC-Strom und andere Funktionen ermöglichen eine präzise Prozesssteuerung und eine gleichmäßige Abscheidung von Materialien auf großflächigen Substraten.
Es liegen noch keine Bewertungen vor