Gebraucht PERKIN ELMER 4410 #293805512 zu verkaufen

Hersteller
PERKIN ELMER
Modell
4410
ID: 293805512
Sputtering system.
PERKIN ELMER 4410 ist eine Sputteranlage zur Abscheidung von dünnen Folien. Das System ist für eine ausgewogene und hocheffiziente Verdampfung, Zerstäubung und Sauerstoffplasma-Abscheidung von Metallen, flüssigem Quench, keramischen Oxiden und intermetallischen Verbindungen ausgelegt. Es ist mit vier Kathoden und zwei E-Strahlquellen zur Abscheidung und Ätzung ausgestattet. 4410 weist eine Doppelkammerausführung mit einer Prozesskammer und einer Differentialpumpkammer auf. Das Gerät bietet vier Kathoden mit direkten und gepulsten Quellen zum Verdampfen, Sputtern und Sauerstoffplasma-Abscheiden von Metallen, flüssigem Quench, keramischen Oxiden und intermetallischen Verbindungen. Diese Maschine enthält auch ein externes Partialdruckdifferenzpumpwerkzeug, das eine genaue Kontrolle der Atmosphäre in der Prozesskammer ermöglicht. Es enthält auch einen Mini-Lock-Ventilmechanismus, um eine selektive Entlüftung der Kammer zu ermöglichen. Die Sputterquellen des Assets verfügen über erweiterte Betriebsarten wie Direktsputter, Ionenbeschuss und Kaskadendeposition. Um Folien höchster Qualität zu liefern, ist das Modell mit zwei E-Strahlquellen ausgestattet. Die Quellen arbeiten über einen weiten Energiebereich (0 bis 6kV) und bieten eine Vielzahl von Möglichkeiten zur Beschleunigung von Verzögerung und Impulsbreite. Der digitale Tiefenregler ermöglicht eine präzise Tiefenkontrolle von Sputterfilmen. Zu den E-Strahlquellen gehört auch eine Vakuumbackanlage für Vor- und Nachätzprozesse. Das System beinhaltet auch einen automatisierten Probenwechsler zur automatischen Abscheidung von Folien auf mehreren Substraten. PERKIN ELMER 4410 enthält eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen. Das Gerät umfasst s t w o s t a g e Wärmetauscher und programmierte Temperaturregelmaschine für genaue Temperaturregelung während der Prozesse. Das Werkzeug enthält auch eine einstufige Turbopumpe, die einen Partialdruck von bis zu 5 mbar auf der Prozesskammer bereitstellt. Darüber hinaus ist das Asset mit automatisierter Abschaltfunktion bei Modellstörungen ausgelegt. Um die Genauigkeit zu gewährleisten, ist 4410 mit einem leistungsstarken Controller ausgelegt. Der Controller verfügt über eine grafische Benutzeroberfläche und Touchscreen für einfache Programmierung und Bedienung. Die Steuerung bietet zudem eine Echtzeitüberwachung der Geräteparameter über einen Bordcomputer. Dieses System enthält auch eine Kalibriereinheit zur Steuerung von Leistung und Spannung zur optimalen Abscheidung über Substrate. Der Controller ermöglicht auch die einfache Eingabe von Rezepten. PERKIN ELMER 4410 bietet ein robustes Design mit hervorragenden Eigenschaften für Sputterabscheidung und Ätzen. Die Maschine umfasst fortschrittliche Quellen und eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um gleichbleibend hochwertige Folien zu erzeugen. Darüber hinaus bietet der Controller eine genaue Echtzeit-Überwachung der Werkzeugparameter. Dieser Vorteil ist ideal für die Abscheidung verschiedener Materialien über eine Reihe von Substraten.
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