Gebraucht PERKIN ELMER 4410 #9201791 zu verkaufen
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ID: 9201791
Wafergröße: 8"
Sputtering system, 8"
Wafer loading: Manual
With load lock
Cathodes: Delta shape, 3 max
Sputter methods: RF / DC
Diode / MAGNETRON
Gas lines: 1~3 MFC
Options:
Gas lines with MFC
N2
O2
Customized
Lamp tower alarm with buzzer:
Mechanical pump / Dry pump for process chamber and load lock
Independent mechanical pump / Dry pump for process chamber
Chiller for cooling plates and table
Turbo pump for load lock
Load lock lamp heating function: Up to 200°C
Chamber lamp heating function: Up to 300°C
Plasma etch function
Bias function
Co sputter function
Reactive sputter function
Main frame
28" Diameter SST chamber top plate with ports and cathodes:
Configuration 4400 4410 / 4450
Cathode shape Circle Delta
Cathode size 8" Delta
Cathode quantity 1 to 4 1 to 3
Sputter power supply:
4400 4410 / 4450
DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
RF Power 1kW / 2kW 2 kW / 3 kW
Pulse DC Power 5 kW 5 kW / 10 kW
Process chamber:
8" Diameter x 12" High stainless steel cylinder with 6"
CF Flange view port and load lock port
28" Diameter stainless steel base plate
11/2" Air operated roughing isolation valve
Air operated gas inlet valve
Air operated vent valve
11/2" Blanked-off leak check port
Removable deposition shields
23" Diameter, 3-position water cooled annular substrate
Table with variable speed motorized table drive
Full circle shutter and vane shutter
Chain drive pallet carrier transport
Heavy duty electric hoist
Load lock:
30" x 28" x 8" Stainless steel load lock chamber
Aluminum cover
Chain drive pallet carrier transport
2" Air operated roughing isolation valve
Air operated vent valve
23" Diameter molybdenum annular substrate pallet
Elevator for pallet up and down function
Vacuum systems for process chamber:
(2) Stage cryo pumps
With 1000 l/s pumping speed for air
Includes:
Chevron
Water cooled compressor and lines
Automatic regeneration controller
Plumbing kit, 71/2"
Aluminum air operated gate valve: 6" ASA
Air operated venetian blind throttling valve
Mechanical pump or dry pump for process: 36.7 Cfm
Chamber and load lock
Replaced obsolete controls:
Auto pump down controller
Load lock controller
Digital clock timer
Table raise / Lower control
Throttle valve control system
Pressure control system
Sputter head controls
Gas line with MFC
Ar, 200 SCCM, customized
Power box: AC 380 V / 208 V / 3 Phase.
PERKIN ELMER 4410 ist eine Sputterausrüstung, die mit einem sehr vielseitigen Feature-Set entwickelt wurde und somit eine beliebte Wahl für elektrische, mikroelektronische und Halbleiteranwendungen ist. Dieses hochkompetente System besteht aus zwei primären Komponenten; die Sputterpistole und ein integriertes Chassis, in dem die Steuerungs- und Leistungskomponenten untergebracht sind. Die Sputterpistole im Herzen von 4410 verfügt über eine einstellbare Stromversorgung zwischen 40 und 350 Watt. Dies ermöglicht es dem Benutzer, die Ablagerate des Geräts an die Anforderungen des aktuellen Projekts oder der aktuellen Anwendung anzupassen. Darüber hinaus ist das Sputterpistolen-Design sehr modular, so dass es eine Vielzahl verschiedener Sputterziele verwenden kann, einschließlich verdampfter, Magnetron- und Diodendesigns. Im integrierten Gehäuse von PERKIN ELMER 4410 befinden sich die Steuerung und alle Leistungskomponenten. Das Steuergerät ermöglicht automatisierte Operationen sowie manuelle Modusoptionen. Dies beinhaltet eine vorprogrammierte Vorgehensweise, bei der Parameter wie Druck und Temperatur festgelegt werden können, sowie manuelle Operationen zur Feinabstimmung des Sputterprozesses. Das Netzteil besteht aus einer Reihe von Transformatoren und Gleichrichtern, die benötigt werden, um die ankommende Wechselspannung in die erforderliche Gleichspannungsleistung für die Sputterpistole umzuwandeln. 4410 ist für den Einsatz in reinraumartigen Umgebungen konzipiert und wurde unter Berücksichtigung der Sicherheit entwickelt. Es enthält einen Notabschaltknopf, um ein schnelles Abschalten der Maschine im Notfall zu ermöglichen, und sein Auspuff wird nach außen entlüftet, um eine minimale Exposition von Gefahrstoffen zu gewährleisten. Zusammenfassend ist PERKIN ELMER 4410 ein vielseitiges, leistungsstarkes Sputterwerkzeug mit hervorragenden Steuerungs- und Leistungskomponenten, das es ermöglicht, in einer Vielzahl von industriellen und forschungsbezogenen Anwendungen eingesetzt zu werden. Es ist für außergewöhnliche Sicherheit konzipiert und mit der modularen Sputterpistole und integrierten Bedienelementen haben die Benutzer die Sicherheit, ihre Ressource an die genauen Bedürfnisse des aktuellen Projekts anzupassen.
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