Gebraucht PERKIN ELMER 4450 #9114028 zu verkaufen
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ID: 9114028
Sputtering system
Au, Ni/V process
Omron PLC Control
(2) Gas
(2) Delta target
(2) AE MDX-5 PS
CT-8 Cryo pump
Pallet, 6"
No etch, LL heat
Currently installed
2000-2005 vintage.
PERKIN ELMER 4450 Sputteranlagen sind ein vielseitiges Hochleistungs-Vakuumabscheidungssystem, das sich ideal für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen eignet, insbesondere Metall-, Keramik-, Halbleiter- und Oxidschichten. 4450 Einheit weist ein elektrostatisches Spannfutter für wiederholbare Waferuniformität, einen automatisierten Verschluss für Substratschutz und eine proprietäre Mehrfachmagnetron-Stapelanordnung auf. Diese Merkmale ermöglichen eine gleichmäßige Abscheidung von Dünnschichtmaterialien, die für integrierte Schaltungsanwendungen wesentlich sind. PERKIN ELMER 4450 verwendet Gleichstrom (DC) Netzteile mit bis zu 500 Watt einstellbarer Sputterleistung und bis zu vier unabhängige Quellen können zur gleichzeitigen Abscheidung verwendet werden. Dadurch kann der Bediener mehrere dünne Filme in einer einzigen Kammer ablegen, wodurch der Prozessdurchsatz erhöht wird. Die Sputterquellen können unabhängig voneinander betrieben werden, um eine präzise Kontrolle der Materialzusammensetzung und Abscheiderate mit hoher Gleichmäßigkeit über dem Substrat zu gewährleisten. 4450 Maschine bietet überlegene Sputterprozesssteuerung und ermöglicht den Einsatz einer breiten Palette von Sputterzielen, Metallen und Oxiden. Das fortschrittliche Magnetron-Design ermöglicht eine hervorragende Strahlprofilsteuerung über große Substrate; was zu einer Gleichmäßigkeit über das Substrat führt. Das Tool bietet eine präzise Prozesssteuerung mit integrierter Temperatur- und Sensorrückkopplung, die einen korrekten Ziel-zu-Substrat-Abstand sowie eine konsistente Pro-Puls-Sputterleistung und eine einheitliche Zielnutzung gewährleistet. Die intuitive PC-basierte grafische Benutzeroberfläche sorgt für eine einfache Bedienung mit One-Button-Start/Stop-Sequenzierung und Echtzeit-Anzeige von Zielstrom, Substrattemperatur, Sputterrate und Filmdicke. Automatisierte Substratbelastung und Entladung ermöglicht eine effiziente, bequeme Probenhandhabung und schnellere Bearbeitungszeiten. Insgesamt ist PERKIN ELMER 4450 Sputteranlage eine ausgezeichnete Wahl für Forscher und Unternehmen, die ein automatisiertes Hochleistungsmodell für Dünnschichtabscheidungsprozesse suchen. Mit seinen vielseitigen Eigenschaften und der flexiblen Prozesssteuerung bietet es eine Vielzahl von Anwendungen, von der Entwicklung integrierter Schaltungen bis hin zur Metallbeschichtung und Schutzschichten. Die benutzerfreundliche Oberfläche und die zuverlässige Leistung machen es zu einer großartigen Ergänzung für jedes Labor.
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