Gebraucht PERKIN ELMER 4450 #9251060 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9251060
Sputtering system
(3) DELTA Targets and etch
Used for thin silicon R&D tri metal (Ti ,Ni, Ag)
Spare parts:
Qty / Part number/ Description
(3) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(7) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(5) / PES-120-018-000 / O Ring BS259
(3) / PES-120-019-000 / O Ring BS214 Viton
(6) / PES-120-121-000 / O Ring BS222 Viton
(2) / PES-120-144-000 / Switch micro (BA-2RV22T)
(4) / PES-121-165-000 / Circlip - External 1/2"
(1) / PES-121-189-200 / Circlip - External 1/4"
(4) / PES-121-381-400 / O Ring BS426 Viton
(10) / PES-121-392-000 / O Ring BS252 Viton
(8) / PES-121-392-000 / O Ring BS252 Viton
(20) / PES-121-394-500 / O Ring BS116 Viton
(7) / PES-121-395-300 / O Ring BS210
(2) / PES-121-395-800 / O Ring BS234
(7) / PES-121-396-700 / O Ring BS266
(3) / PES-121-396-900 / O Ring BS268
(2) / PES-121-401-400 / Belt timing 100 Xl
(2) / PES-121-411-600 / Bearing
(1) / PES-121-412-500 / Bracket
(1) / PES-121-412-600 / Bracket
(9) / PES-121-420-400 / O Ring BS131
(1) / PES-121-420-400 / O Ring BS131
(2) / PES-121-423-900 / O Ring BS272
(10) / PES-121-423-900 / O Ring BS272
(2) / PES-121-424-000 / O Ring BS278
(9) / PES-121-424-000 / O Ring BS278
(1) / PES-121-425-700 / Circlip internal 2"
(1) / PES-121-430-000 / Circlip internal 2 3/4"
(1) / PES-121-430-800 / FAFNIR KP33B Bearing ball
(1) / PES-121-432-400 / Ring retaining 2 1/8"OD
(1) / PES-121-947-100 / Resistor assy 15K Ohm
(2) / PES-121-964-910 / Bearing (204NPD) W-2Z
(8) / PES-122-026-600 / Fuse-1/8 Amp (1"x1/4")
(2) / PES-122-074-500 / Switch push button
(2) / PES-122-082-500 / Capacitor-WBR+1000-35
(2) / PES-122-142-800 / I.C 74C76
(1) / PES-122-142-900 / I.C 74HCT10
(1) / PES-122-148-500 / DAYCO 150L050 timing belt
(1) / PES-122-154-200 / Motor stepper 120 Volt
(5) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(2) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(2) / PES-122-165-900 / O Ring BS128
(1) / PES-122-202-400 / I.C 74HCT00
(100) / PES-122-202-500 / CD74HCT04E - IC (Farnell 381-081)
(2) / PES-122-245-600 / POTTER&BROOMFIELD Relay 115V
(5) / PES-122-267-500 / Washer steel 1 1/4OD x 3/4ID x 1/8
(2) / PES-122-268-400 / Capacitor variable 20-500 uF
(1) / PES-122-275-600 / I.C MCA 22312 (4N32 Equiv)
(1) / PES-122-283-790 / Switch toggle Op (C&K 7415)
(2) / PES-132-101-200 / Choke (Ohmite Z-7)
(1) / PES-132-509-300 / Timer (Syracuse DDR-00305)
(1) / PES-133-223-000 / Capacitor 500 mF 25VDC
(2) / PES-133-272-100 / Capacitor 500M 6Kv 25V
(2) / PES-134-021-200 / Rheostat 15K (Ohmite 4202 15000)
(1) / PES-134-354-000 / Resistor assy 3K
(1) / PES-134-402-000 / Resistor assy 33K
(1) / PES-134-403-000 / Resistor assy 100K
(1) / PES-134-407-000 / Resistor assy 5.6K
(1) / PES-134-951-500 / Resistor 22.5K
(2) / PES-135-444-400 / Switch rocker Op (C&K 7201)
(2) / PES-135-445-500 / Strip grounding
(2) / PES-135-921-200 / Head relay brd 24 V AC .K3
(2) / PES-135-921-900 / Relay 120V AC (Sigma78Re1)
(1) / PES-135-922-000 / Relay 28V DC / 120V AC
(1) / PES-135-928-200 / POTTER&BRUFIELD Khu17D11 Relay
(2) / PES-136-300-400 / Ring PTFE 1/4" ID
(2) / PES-136-634-000 / Transistor 2N1559
(2) / PES-139-003-000 / Insulator ceramic
(5) / PES-139-008-700 / Insulator ceramic
(3) / PES-139-008-700 / Insulator ceramic
(1) / PES-139-008-800 / Insulator ceramic
(1) / PES-178-146-000 / Motor 7RPM 120 Volt
(5) / PES-179-632-000 / Fuse (Buss GMA1O) 3/16 x 3/4
(1) / PES-220-965-000 / Clamp bar
(2) / PES-220-965-100 / Clamp bar
(1) / PES-221-079-300 / Block S/S 1" X 4 1/2" X 1/4"
(2) / PES-221-177-600 / PCB LN2 control
(3) / PES-221-180-200 / Switch rocker Op (Micro4TPL-7)
(1) / PES-221-274-900 / Gasket
(1) / PES-221-279-500 / Assembly feed through
(1) / PES-221-279-900 / Flange transport drive assy.
(1) / PES-221-281-500 / Assembly Feed Through
(2) / PES-221-296-100 / Water feed through
(6) / PES-221-340-900 / Strip grounding
(1) / PES-221-582-900 / PCB Filter board
(1) / PES-2E26 / Beam amplifier
(1) / PES-500-579-500 / Seal assy 1 5/8" OD
(1) / PES-500-585-400 / Bellows 1 1/2" Valve
(2) / PES-500-827-700A / Bellows Assy
(1) / PES-6AG7 / Receiving tube
(3) / PES-721-369-000 / Transformer
(5) /PES-721-384-000 / Washer fibre 1/2"OD X 1/8"ID
(10) / PES-AM33K3 / Bearing - Inner door
(5) / PES-B221-210-000 / Clip heater
(1) / PES-B221-462-700 / Motor Stepper 120 Volt
(1) / PES-D220-948-700 / Valve bellows 2"
(2) / PES-MI-100-KF / Gauge Ion-Mi-100-Kf.
Die PerkinElmer PERKIN ELMER 4450 ist eine Sputteranlage zum Abscheiden von Metall- und Dielektrikumfolien in Dünnschichtherstellungsprozessen. Es bietet das Beste aus beiden Welten; eine branchenübliche Zweikanal-Kathodenzerstäubungsquelle und eine einzigartige Düsenquelle mit doppelter Breite zur hochgleichmäßigen Abscheidung von dielektrischen Folien. Das System ist in der Lage, Schichten aus Metall oder dielektrischen Materialien mit hoher Auflösung und außergewöhnlicher Gleichmäßigkeit auf Wafern bis 8 Zoll Durchmesser abzuscheiden. Der PerkinElmer 4450 umfasst eine Vakuumkammer, eine Stromversorgung und einen Hochfrequenzgenerator (HF). Es unterstützt eine Vielzahl von Prozessen, darunter kontinuierliches und gepulstes Sputtern, reaktives Ionenmodus-Sputtern (RIMS) und die Abscheidung verschiedener Materialien gleichzeitig aus zwei separaten Quellen. Die Einheit kann zwei Quellen aufnehmen - eine ortsspezifische Zweikanal-Kathodenzerstäubungsquelle und eine Düsenquelle mit doppelter Breite für dielektrische Filme. Die Quellspannung und Leistung sind einstellbar, so dass die Abscheiderate und die Filmdicke gesteuert werden können. Die fortschrittliche Stromversorgung des PerkinElmer PERKIN ELMER 4450 bietet unabhängige und programmierbare Leistungseinstellungen für jede Quelle, was eine Prozessoptimierung ermöglicht. Die Maschine verfügt auch über einen Probenhalter mit einem Hebewerkzeug zum Be- und Entladen von bis zu acht Wafern - es kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm aufnehmen. Die Bewegung des Probenhalters wird durch einen Aktuator mit einer Positionswiederholbarkeit von besser als 1 Mikron gesteuert. Der Halter kann gedreht (CW und CCW) und im Bereich von -10 bis + 10 ° bei bis zu 395 Umdrehungen pro Minute gekippt werden. Das Asset verfügt außerdem über einen automatisierten Autofokus-Sensor und einen In-situ-Quarz-Monitor, um eine genaue Filmdicken-Kontrolle zu gewährleisten. Schließlich enthält der PerkinElmer 4450 eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie einen Nothalt und Verriegelungen an der Kammer, Quellen und Waferhalter. Das Modell ist für die Halbleiterverarbeitung in einer gesteuerten Umgebung ausgelegt. Um hohe Prozesswiederholbarkeit zu erhalten und Sputterpartikel und Hintergrundverunreinigungen zu reduzieren, kann die Anlage mit Prozessgasen, Stickstoff oder anderen Gasen gespült werden. Zusammenfassend ist der PerkinElmer PERKIN ELMER 4450 ein fortschrittliches, hochpräzises Sputtersystem, das eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung mit hoher Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit ermöglicht. Der in situ Quarzmonitor und der automatisierte Autofokussensor sorgen für eine einfache und präzise Steuerung kritischer Filmparameter, während die integrierten Sicherheitsmaßnahmen eine zuverlässige Prozessoptimierung ermöglichen.
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