Gebraucht PERKIN ELMER / RANDEX 3140 #9247279 zu verkaufen
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ID: 9247279
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6"
Sputter coater
Sputtering head
Vacuum chamber
Rolling vacuum enclosure / Base
Does not include:
Turbo pump
Roughing pump
Cathode sputtering interfaces with vacuum station 14"
RF Sputter deposition
Bias sputter
Sputter etcher
Deposition uniformity: ±5%
Matching network combined with 1/2 kW RF power supply
PLASMATHERM HFS 500E RF Generator
Power supply.
PERKIN ELMER/RANDEX 3140 Sputterausrüstung ist ein hochwertiges Sputtersystem, das dünne Filme aus gewünschtem Material auf Substraten aufbringt. Es ist eine Dual-Magnetron-Einheit, die mehr Kontrolle über Sputterabscheidung fördert und ist ideal für Anwendungen, die Präzision erfordern, wie Beschichtung optische Komponenten, Lab-on-a-Chip-Geräte, Datenspeicher, Displays und Materialanalyse. RANDEX 3140 Modell verfügt über eine 13 Zoll Durchmesser Vakuumkammer, so dass es für eine Vielzahl von Substraten bis zu 12 Zoll in der Größe geeignet. PERKIN ELMER 3140 bietet auch eine breite Palette von Betriebsdruck- und Abscheideraten. Es ist in der Lage, hochwertige Filme mit guter Haftung, Homogenität und Gleichmäßigkeit bei hohen Abscheidungsraten herzustellen, ideal für die Dünnschichtabscheidung mit plasmaverstärkter chemischer Dampfabscheidung, reaktiver Sputterabscheidung oder physikalischer Dampfabscheidung. Die Maschine wird von einem hochpräzisen Regler angetrieben und bietet eine präzise Optimierung der DC- und HF-Leistung, der HF-Frequenz und des Sputterdrucks für eine gleichmäßige Dünnschichtabscheidung. 3140 verfügt auch über eine Vielzahl von Betriebsparametern, so dass der Benutzer den Abscheidungsprozess anpassen und die Zieleigenschaften der fertigen Folie optimieren kann. Darüber hinaus beinhaltet PERKIN ELMER/RANDEX 3140 auch ein automatisches Wafer-Handling-Tool für Komfort und Genauigkeit während des Spinnvorgangs. Es enthält einstellbare Sicherheitsmerkmale, wie Sensoren und Absperrsysteme, die den Sputter stoppen, wenn ein Wafer in der Kammer vorhanden ist. RANDEX 3140 wird auch mit einem elektrischen Infrarot-Heizelement zur Vergasung von Substraten und zur Initiierung von Sputterprozessen geliefert. PERKIN ELMER 3140 Sputtering Asset ist ein hervorragendes Werkzeug zum Abscheiden von dünnen Schichten aus gewünschten Materialien auf Substraten. Es ist ein hochwertiges, integriertes Sputtermodell, das präzise einstellbare Parameter und Merkmale bietet und den Erfolg von Dünnschichtabscheidungsanwendungen gewährleistet. Der einfach zu bedienende Controller, intuitive Sicherheitsfunktionen und automatische Wafer-Handling-Geräte bieten eine überlegene Kontrolle über Abscheidungsparameter, so dass der Benutzer hochwertige Filme mit ausgezeichneter Haftung, Homogenität und Gleichmäßigkeit erstellen kann.
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