Gebraucht PERKIN ELMER / RANDEX 3410-6J #9275483 zu verkaufen

PERKIN ELMER/RANDEX 3410-6J ist eine Multizielsputteranlage, die mehrere Materialien gleichzeitig verdampfen kann. Es ist ideal für die Abscheidung von dünnen Folien für verschiedene Anwendungen, einschließlich Flachbildschirme, optische Beschichtungen und Verpackungen. Das System zeigt eine Hochvakuummehrschicht magnetron stotternde Quelle, die magnetische Felder an direkten Ionen zu den Substratmaterialien verwendet, um dünne Filme zu schaffen. Es verwendet vier Ablagerungsquellen, zwei 6-Zoll-Ziele und zwei 4-Zoll-Ziele. Die 6-Zoll-Targets können für Substratmaterialien mit einem Durchmesser von bis zu 6 Zoll verwendet werden. Die 4-Zoll-Targets können für kleinere Substrate verwendet werden. Das Gerät verfügt auch über eine in-situ DC-Überwachungsmaschine, so dass Benutzer ihre Abscheidungsprozesse in Echtzeit verfolgen und aufzeichnen können. Ein integrierter Regler betreibt die Hauptvakuum- und Hilfsdrehpumpen des Werkzeugs sowie die Steuerung der Quellen. Der Controller fungiert auch als Schnittstelle für die in-situ DC-Überwachungseinrichtung, so dass Messungen an jeder Stelle des Prozesses durchgeführt werden können. Das Modell beinhaltet eine Innenbelastung, die einen Probenwechsel ohne Vakuumverlust ermöglicht. Die Innenbelastung ist zudem mit einer automatisierten Probenhandhabungseinrichtung ausgestattet, die den Wechsel von Substraten von einem Standort zum anderen erleichtert. Das System ist in der Lage, verschiedene Materialien zu zerstäuben, einschließlich Metalle, Legierungen, Oxide und Nitride. Es beinhaltet eine Multizielfähigkeit, die die Erstellung komplexer Dünnschichtstrukturen ermöglicht. Es umfasst auch eine Hobelquellenkonfiguration und eine duale Plasmaquellenkonfiguration, die unterschiedliche Filmdichten und -dicken bei der gleichen Abscheidungsaufgabe ermöglicht. Die Einheit ist in der Lage, Sputterabscheidungsraten bis zu 6 Nanometer pro Sekunde auf Aluminium und bis zu 1 Nanometer pro Sekunde auf Silizium. Sein Basisdruck von weniger als 2 × 10-10 Torr ermöglicht eine sehr gute Vakuumleistung. Die Maschine ist auch in der Lage, sowohl leitfähige als auch nichtleitfähige Filme gleichmäßig abzuscheiden. Das Werkzeug ist benutzerfreundlich und umfasst verschiedene Sicherheitsmerkmale wie eine mechanische Verriegelung, offene Kammererkennung, geschlossene Kammererkennung und elektronische Leistungsschalter. Die Anlage ist auch mit einer Vielzahl weiterer Funktionen ausgestattet, einschließlich einer integrierten Reinigung beim Freigeben und erneuter Druckbeaufschlagung der Kammer. RANDEX 3410-6J ist eine ideale Wahl für Anwender, die ein Multi-Target-Sputtermodell benötigen, das eine präzise Dünnschichtabscheidung ermöglicht. Seine ausgeklügelte Technologie und seine fortschrittlichen Sicherheitsfunktionen bieten Anwendern eine effiziente und effektive Lösung für ihre Dünnschichtabscheidungsanforderungen.