Gebraucht PLASMATHERM / UNAXIS Clusterline 300 #9123065 zu verkaufen

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ID: 9123065
PVD System, 12" (5) Chamber UBM sputter tool (1) SE Chamber arctic (1) Degas (1) PVE Arctic (3) PVD Clampless Dual server / Arctic soft etch 2006 vintage.
PLASMATHERM/UNAXIS Clusterline 300 ist eine zuverlässige und fortschrittliche Sputterausrüstung. Es ist ein umfassendes System zur Abscheidung von Dünnschichtmetallik-, Isolier- und Halbleitermaterialien durch Magnetronsputtern. Die Einheit ist so ausgelegt, dass vier 8 „-Substrate oder zwei 12“ -Substrate gleichzeitig verarbeitet werden. Die kompakte Bauweise ermöglicht eine hervorragende Leistung und Wirtschaftlichkeit. Die Maschine verfügt über einen automatisierten Materialabscheidungsprozess und eine intelligente Überwachung mit numerischem SPS-Steuerwerkzeug. Es verwendet eine optimierte substratbasierte Bewegung und erweiterte Prozessparametersteuerung. Darüber hinaus ist der Vermögenswert mit zwei Magnetronquellen ausgestattet, um eine gleichmäßige Materialabscheidung zu gewährleisten. Das Modell umfasst auch rotierende Hilfs- und Hybrid (Plasma) Quellen für eine verbesserte Schrittabdeckung. Die UNAXIS Clusterline 300 ist zudem mit einer breiten Palette integrierter Quell- und Substratmaterialien ausgestattet. Dazu gehören Metalle, Isolatoren, optische Beschichtungen und PECVD-Polymere. Das Gerät verfügt auch über ein fortschrittliches Temperaturkontrollsystem mit einem fortschrittlichen Temperaturmonitor, der eine genaue und stabile Temperatur im gesamten Gerät gewährleistet. PLASMATHERM Clusterline 300 verfügt auch über eine innovative fortschrittliche Substratreinigungsmaschine, die eine hochwertige Dünnschichtabscheidung gewährleistet. Dieses Werkzeug reduziert auch die Durchspeisung, Verschmutzung und Schattenbildung und gewährleistet gleichzeitig eine gleichmäßige Dicke über alle vier Substrate. Darüber hinaus verfügt das Asset über ein erweitertes Quasi-Total-External-Reflectometer (QTTR) für die Echtzeit-Dünnschichtüberwachung. Clusterline 300 ist ein flexibles und leistungsstarkes Modell, das höchste Produktivität für die Dünnschichtabscheidung bietet. Es ist zuverlässig, kostengünstig und hat eine lange Lebensdauer der Maschine.
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