Gebraucht ROBUST 300 #293596982 zu verkaufen
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ID: 293596982
Wafergröße: 12"
PVD Sputtering system, 12"
Chamber
Chiller
(2) Loadports
(5) Pumps
Robot
RF Generator rack
Voltage box.
ROBUST 300 ist eine industrielle Sputteranlage, die entwickelt wurde, um Abscheidegeschwindigkeiten mit hoher Kontrolle und Genauigkeit zuverlässig bereitzustellen. Das System verfügt über eine leistungsstarke DC-Sputterquelle mit drei Zielen, mit der sich Materialschichten auf so dünnen Substraten wie wenigen Nanometern abscheiden lassen. Das Gerät kann dank eines integrierten variablen Frequenzantriebs in einem weiten Temperaturbereich arbeiten und Temperaturen bis 600 ° C bewältigen. Es wird von einem programmierbaren Logikcontroller (SPS) gesteuert und kann für wiederholbare Prozesse vollautomatisiert werden. Die Maschine besteht aus einer Prozesskammer, einer Turbo-Molekularpumpe und einer Drei-Target-Magnetron-Zerstäubungsquelle. Die Prozesskammer ist speziell auf die Maximierung der Prozessgleichförmigkeit über das gesamte Substrat oder Werkstück ausgelegt, wobei ein Paar abgestufte Impedanz, Vollmagnetron-Eingangsquellen, Mehrpulsquellen verwendet werden. Die Turbopumpe sorgt für eine effiziente und energiesparende Vakuumqualität. Die Drei-Ziel-Magnetron-Sputterquelle ist das Herzstück von 300 und verfügt über eine leistungsstarke Werkzeugkonfiguration, die energetische Ionenbeschüsse erzeugt und eine gleichmäßige Filmhaftung ermöglicht. Darüber hinaus ist die Prozesskammer mit einem Geräuschunterdrückungsmechanismus und einem störungsfreien Betrieb ausgestattet, wodurch sie ideal für den Einsatz in rauen industriellen Umgebungen geeignet ist. Die Anlage ist sehr zuverlässig und einfach zu bedienen, und sein ROBUSTES Design macht es zu einer zuverlässigen Wahl für hochpräzise Beschichtungsanforderungen. Das Modell wurde seit seiner Einführung ASEP-zertifiziert und gewährleistet Genauigkeit, chemische und physikalische Stabilität sowie Langlebigkeit der Ausrüstung. Darüber hinaus kann ROBUST 300 mit einer Vielzahl von Zubehör und Software integriert werden, was eine automatisierte Steuerung des gesamten Sputterprozesses ermöglicht. Zusammenfassend ist 300 ein zuverlässiges und leistungsstarkes Sputtersystem, das den hohen Anforderungen industrieller Anwendungen gerecht wird. Mit Funktionen wie einer Geräuschunterdrückungseinheit, einer effizienten Turbopumpe und einer ASEP-zertifizierten Maschine bietet es eine zuverlässige und genaue Lösung für die hochpräzisen Beschichtungsbedürfnisse industrieller Anwender.
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