Gebraucht SELCOS CETUS-S #293793544 zu verkaufen

Hersteller
SELCOS
Modell
CETUS-S
ID: 293793544
Sputtering system.
SELCOS CETUS-S ist eine fortschrittliche Sputterausrüstung für präzise Dünnschichtabscheidung in Halbleiterherstellung und Forschungsanwendungen. Dieses hochmoderne System verfügt über eine Reihe innovativer Funktionen und Technologien, um Hochleistungs-Sputterprozesse mit außergewöhnlicher Folienqualität und Gleichmäßigkeit zu ermöglichen. Kern der CETUS-S-Einheit ist eine Hochvakuumkammer mit mehreren Sputtertargets, typischerweise aus Metall oder Keramik. Diese Targets dienen als Materialquelle für den Abscheidungsprozess und werden mit hochenergetischen Ionen gesputtert, um einen dünnen Film auf dem unten platzierten Substrat zu erzeugen. Die Kammer wurde entwickelt, um eine kontrollierte Umgebung mit geringen Verunreinigungen und ausgezeichneten Vakuumspiegeln zu erhalten, um die Abscheidung von hochwertigen Folien zu gewährleisten. Eines der Hauptmerkmale der SELCOS CETUS-S-Maschine ist die vielseitige Sputterfunktion, die es Anwendern ermöglicht, eine breite Palette von Materialien wie Metalle, Oxide, Nitride und andere Verbindungen abzulegen. Diese Flexibilität ermöglicht die Herstellung komplexer mehrschichtiger Strukturen mit präziser Kontrolle über Zusammensetzung, Dicke und Morphologie. Das Tool unterstützt sowohl DC- als auch RF-Sputtermodi und bietet Benutzern die Flexibilität, die am besten geeignete Abscheidungsmethode für ihre spezifischen Anforderungen zu wählen. CETUS-S Asset ist mit fortschrittlichen Stromversorgungen und HF-Generatoren ausgestattet, die eine präzise Kontrolle über die Sputterparameter wie Leistung, Druck und Gasdurchflussraten liefern. Diese Funktionen ermöglichen es Anwendern, den Abscheidungsprozess für verschiedene Materialien und Folieneigenschaften zu optimieren und so eine hohe Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit über große Substratbereiche hinweg zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Modell über Echtzeit-Überwachungs- und Steuerungssysteme, die eine sofortige Rückmeldung von Prozessparametern ermöglichen, so dass On-the-Fly-Anpassungen möglich sind, um optimale Abscheidebedingungen aufrechtzuerhalten. Neben seinen Sputterfunktionen bietet SELCOS CETUS-S auch erweiterte Handhabungs- und Heizmöglichkeiten für Substrate, um den Folienabscheidungsprozess weiter zu verbessern. Das System kann verschiedene Substratgrößen und -typen aufnehmen, einschließlich flacher Substrate, Wafer und dreidimensionaler Strukturen, wodurch dünne Filme auf einer Vielzahl von Materialien abgeschieden werden können. Eine präzise Temperaturregelung während der Abscheidung kann mit Widerstandsheiz- oder Infrarot-Heizverfahren erreicht werden, die ein gleichmäßiges Filmwachstum und eine gleichmäßige Haftung auf dem Substrat gewährleisten. Darüber hinaus kann die CETUS-S-Einheit mit zusätzlichen Funktionen wie In-situ-Überwachungswerkzeugen, Substratvorspannungsfähigkeiten und automatischen Zielvermittlungssystemen ausgestattet werden, um die Prozesssteuerung und Produktivität zu verbessern. Diese fortschrittlichen Fähigkeiten machen die Maschine für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiterbauelementeherstellung, Photovoltaik, MEMS/NEMS und Forschungsbereichen, die eine präzise Dünnschichtabscheidung erfordern, gut geeignet. Insgesamt setzt SELCOS CETUS-S Sputterwerkzeug einen neuen Standard für Hochleistungs-Dünnschichtabscheidung mit seinen fortschrittlichen Funktionen, vielseitigen Fähigkeiten und überlegener Folienqualität. Es bietet Anwendern eine zuverlässige und effiziente Lösung für die Herstellung hochwertiger Dünnschichten mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Kontrolle und ist somit eine ideale Wahl für anspruchsvolle Halbleiter- und Forschungsanwendungen.
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