Gebraucht SHIBAURA SWN5000 #293634649 zu verkaufen

Hersteller
SHIBAURA
Modell
SWN5000
ID: 293634649
Wafergröße: 6"-8"
Sputtering system, 6"-8" Control unit.
SHIBAURA SWN5000 ist eine Sputteranlage, die in der Halbleiterindustrie zur Herstellung von Dünnschichtwafern eingesetzt wird. Der Sputter ist ein Verfahren, das eine dünne Schicht auf Substraten wie Glas, Kunststoff oder keramischen Oberflächen abscheidet. Das Sputterverfahren wird für elektronische Mikroschaltungen, optische Geräte, medizinische Implantate und andere Mikrochips eingesetzt. SWN5000 ist ein hochpräzises Sputtersystem, das mit einem 8-Phasen-Netzteil und einem hochauflösenden DC-Leistungsregelungsmodul geliefert wird. Dadurch wird sichergestellt, daß die zerstäubte Beschichtung eine gleichmäßige Abscheiderate aufweist, wodurch eine homogene Materialschicht auf dem Substrat entsteht. Die Steuereinheit von SHIBAURA SWN5000 ermöglicht auch eine Vielzahl von Pulssputterbedingungen, die je nach gewünschtem Material und Dicke der Beschichtung unterschiedlich eingestellt werden können. Die Maschine hat auch eine hohe Genauigkeit, die verwendet werden kann, um sehr kleine, präzise Muster und andere komplexe Formen zu produzieren. SWN5000 verwendet eine linearförmige Magnetron-Zerstäubungskathode mit einer unabhängigen Kantenabschirmelektrode. Diese Bauweise ermöglicht ein gleichmäßigeres Sputtern sowie eine genauere Abscheidung in Bereichen mit höheren Seitenverhältnissen. Darüber hinaus kann das Werkzeug einen Bereich von Pulsdauern, Impulsleistung und Impulsfrequenzen erzeugen, um unterschiedliche Filmabscheidungsmuster zu erreichen. SHIBAURA SWN5000 ist mit einem Paar keramisch beschichteter Quarztiegel ausgestattet, die verwendet werden können, um Zielmaterialien wie Gold, Molybdän, Aluminium oder Wolfram zu zerstäuben. Es verfügt auch über ein Druckregelventil, einen Temperatursensor und eine Temperaturregeleinheit, mit der Benutzer den Druck und die Temperatur des Hohlraums regulieren können, um einen konsistenten und zuverlässigen Prozess zu gewährleisten. SWN5000 kommt mit einer breiten Palette von Sicherheitsfunktionen, wie Wasserkühlung und Interlocks, um unerwünschte Manipulationen zu verhindern. Es kommt auch mit einem Auspuffkrümmer, um luftgetragene Partikel zu evakuieren. Insgesamt ist SHIBAURA SWN5000 ein effizientes, sicheres und zuverlässiges Gut für die Sputterbeschichtung von Dünnschichtscheiben. Seine erweiterten Funktionen ermöglichen es Anwendern, hochpräzise Ergebnisse mit einer breiten Palette von Zielmaterialien und Substraten zu erzielen.
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