Gebraucht SHOWA SHINKU SPH-2019F #9078362 zu verkaufen
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SHOWA SHINKU SPH-2019F ist eine Sputteranlage für den Einsatz in Dünnschichtabscheidungsanwendungen. Es ist eine kostengünstige Lösung, die eine qualitativ hochwertige Abscheidung von Metall- oder Halbleiterfilmen auf großen Substraten wie Solarzellen oder LCD-Displays ermöglicht. Das Spritzensystem wird mit einem Hochleistungs-, direct-current/magnetron stotternde Quelle ausgestattet, die dazu fähig ist, eine breite Reihe von Materialien einschließlich Metalle, Legierung, Dielektriken und Oxyde zu stottern. Die Quelle verfügt über eine einstellbare Ausgangsleistung von bis zu 500 W mit drei verschiedenen Arten von HF-Leistungsstabilisierungsversorgung für eine hervorragende Filmabscheidungsqualität. Das Gerät enthält auch eine Hochvakuumkammer mit einer stangenlosen linearen Translationsstufe, die das Substrat bis zu 200 mm Durchmesser bewegen kann. Die gesamte Maschine ist in der Lage, einen Betriebsdruck unter 6 × 10-3 Pa und ein Vakuumniveau von 6 × 10-6 Torr zu erreichen. Um die Prozesssteuerung zu erleichtern, umfasst das Werkzeug eine Prozesssteuerung, mit der bis zu 350 Prozessparameter eingestellt und überwacht werden können. Dieser Controller verfügt über ein Windows 7-Betriebsmittel, eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, einen integrierten optischen Encoder und einen Echtzeit-Monitor für die Abscheidegeschwindigkeit. Darüber hinaus ist das Modell auch mit einem programmierbaren Temperaturregler zur präzisen Temperaturregelung ausgestattet, während das Gerät auch nach Kundenwunsch um zusätzliche Module und Sensoren erweitert werden kann. SPH-2019F bietet auch eine hervorragende Gleichmäßigkeit der Filmabscheidung mit einer durchschnittlichen Größe von ± 0,2 μ m und einer Abscheiderate von bis zu 150 nm/Minute. Das System bietet auch eine hervorragende Stufendeckung von 90-95% und Folien mit einer Dicke von bis zu 200 nm sind bei ausgezeichneter Qualität erreichbar. Insgesamt bietet SHOWA SHINKU SPH-2019F eine kostengünstige, hochwertige Lösung für die Dünnschichtabscheidung. Mit seinem vielseitigen Design, der präzisen Steuerung und der leistungsstarken Sputterquelle ist es eine ideale Wahl für eine Vielzahl von Anwendungen.
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