Gebraucht SLOAN 1800 #293751854 zu verkaufen
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ID: 293751854
Weinlese: 1980
Sputtering system
Lid: 26" diameter
Chamber: 30" diameter
(4) Sputtering targets: 3.5" x 8"
Rotating mechanism
1980 vintage.
SLOAN 1800 ist eine Hochleistungs-Sputteranlage, die speziell für die Dünnschichtabscheidung in fortgeschrittenen Halbleiter- und Mikroelektronik-Fertigungsprozessen entwickelt wurde. Dieses hochmoderne System kombiniert modernste Technologie mit fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen, um präzise und gleichbleibende Folienqualität für eine Vielzahl von Anwendungen zu bieten. Im Kern von 1800 Einheit ist seine Sputterkammer, die mit mehreren Kathoden ausgestattet ist, die verschiedene Materialien wie Metalle, Oxide und Nitride abscheiden können. Die Dual-Magnetron-Sputtertechnologie sorgt für hohe Abscheidungsraten und ausgezeichnete Filmgleichförmigkeit bei großen Substratgrößen und ist somit ideal für Produktionsumgebungen mit hohen Stückzahlen. Die Maschine ist mit erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen ausgestattet, einschließlich Rückkopplungssystemen mit geschlossener Schleife, die Schlüsselparameter wie Abscheiderate, Filmdicke und Filmzusammensetzung in Echtzeit überwachen und anpassen. Diese Steuerung stellt sicher, dass die abgeschiedenen Folien die strengen Qualitätsstandards erfüllen, die für die Herstellung von hochmodernen Halbleiterbauelementen erforderlich sind. Neben den erweiterten Prozesssteuerungsfunktionen bietet das SLOAN 1800 Tool auch ein hohes Maß an Flexibilität und Skalierbarkeit. Das Asset kann einfach konfiguriert werden, um Mehrschichtfolien mit präziser Kontrolle über Schichtdicke und Zusammensetzung abzuscheiden, wodurch es für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter-, Optoelektronik- und MEMS-Industrie geeignet ist. 1800-Modell ist für einfache Bedienung und Wartung konzipiert, mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche, mit der Bediener Ablagerungsprozesse schnell einrichten und optimieren können. Integrierte Diagnosen und vorausschauende Wartungsfunktionen tragen dazu bei, Ausfallzeiten zu minimieren und eine maximale Betriebszeit der Ausrüstung für eine unterbrechungsfreie Produktion zu gewährleisten. Sicherheit hat auch bei der Konstruktion des SLOAN 1800-Systems oberste Priorität, mit Funktionen wie Verriegelungen, Sicherheitssensoren und Not-Aus-Tasten zum Schutz von Bedienern und Geräten während des Betriebs. Das Gerät erfüllt Industriestandards und -vorschriften, um eine sichere Arbeitsumgebung für die Anwender zu gewährleisten. Insgesamt ist die 1800-Sputtermaschine ein vielseitiges und zuverlässiges Werkzeug für die Dünnschichtabscheidung in fortgeschrittenen Halbleiterherstellungsprozessen. Mit seinen leistungsstarken Funktionen, fortschrittlichen Prozesssteuerungsfunktionen und dem benutzerfreundlichen Design ist das Tool gut für Serienumgebungen geeignet, in denen Präzision und Zuverlässigkeit an erster Stelle stehen.
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