Gebraucht SLOAN SL 1800-S #70881 zu verkaufen
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ID: 70881
Automated DC sputter gun system. This system includes 3 sputter gun heads with Sloan Model SP 2/5 2kw power supply. The two part process chamber is l8" dia with the lower ss portion 11" deep, while the upper Pyrex collar and plexiglass implosion cage adds 6" to the overall depth. The pumping system consists of a Varian VHS6 diffusion pump rated at 2400 l/s, integral LN2 trap with controller, electropneumatic valves with Sequentorr II sequencer, ion gauge and a Welch 1397-17.7 CFM mechanical roughing pump. A Sloan Model DDC500 digital deposition controller with 3 sensor heads, shutter control and horizontal planetary are also included.
SLOAN SL 1800-S Sputterausrüstung ist ein vielseitiges und leistungsstarkes Werkzeug für eine Reihe von Oberflächenbeschichtungsanwendungen. Dieses System ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien mit verschiedenen Sputtertechniken für Prozesse zu deponieren, die eine genaue Kontrolle erfordern. Der Sputterprozess selbst beinhaltet das Verdampfen eines Zielmaterials durch Bombardieren mit energetischen Ionen aus einem Elektronenstrahl. Dadurch erzeugt das Zielmaterial feine partikelartige Atome, die dann durch das Kammergas hindurchlaufen und sich auf die Oberfläche des Substrats abscheiden. Diese Sputtereinheit verfügt über eine Glockenglaskammer im Durchmesser von 18 ", die hilft, die Gleichmäßigkeit der Abscheidung und die Abdeckung über das Substrat beim Drehen zu maximieren. Es verfügt auch über eine präzise Steuerung der Substrattemperatur, Druck und eine einstellbare Abscheiderate, so dass die Abscheidung von hochwertigen einheitlichen Beschichtungen. SL 1800-S ermöglicht DC, RF oder pulsierendes Sputtern sowie RF-Ätzen. Die Maschine umfasst eine Vielzahl von Prozessgasfähigkeiten, wie Argon und andere Gase. Der Druck kann präzise gesteuert werden, so dass er ideal für Prozesse ist, die eine präzise Steuerung der Sputterrate erfordern. Die fortschrittlichen Controller werden auch verwendet, um den Sputterprozess zu regulieren, was präzise und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Neben den leistungsstarken Abscheidefähigkeiten von SLOAN SL 1800-S ermöglicht es auch die Substratmanipulation. Dazu gehört die Fähigkeit, das Substrat zu bewegen und zu neigen, sowie die Fähigkeit, es zu drehen und den Substratwinkel in Bezug auf das Sputterziel zu ändern. Die Drehung des Substrats ist vorteilhaft, um gleichmäßige Beschichtungen zu gewährleisten. SL 1800-S ist eine gute Wahl für eine Vielzahl von Oberflächenbeschichtungsanwendungen wie Sputterbeschichtung, ionenunterstützte Abscheidung oder keramische Schichtprodukte. Die präzise Steuerung der Prozessparameter und die Vielseitigkeit des Werkzeugs machen es ideal für die Herstellung hochwertiger Beschichtungen zu einem vernünftigen Preis. SLOAN SL 1800-S ist ein kostengünstiges und leistungsfähiges Asset und das perfekte Werkzeug für moderne Beschichtungsanwendungen.
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