Gebraucht SPUTTERED FILMS INC / SFI Shamrock 5 #9315279 zu verkaufen

ID: 9315279
Sputtering deposition system Single chamber.
SFI (SPUTTERED FILMS INC) SPUTTERFOLIEN INC/SFI Shamrock 5 ist eine physikalische PVD-Sputterausrüstung, die für die hochpräzise Abscheidung dünner Filme entwickelt wurde. Dieses System wurde entwickelt, um den Anforderungen von Produktionssputteranwendungen in einer Reihe von Branchen wie Flachbildschirme, Optoelektronik, Energiespeicher und Dünnschicht-Photovoltaikzellen gerecht zu werden. SFI Dreiblattklee 5 ist eine Singlequelle, volle Reihe stottern Absetzungseinheit, die repeatable und konsequente Filmabsetzungsergebnisse anbietet. SPUTTERED FILMS INC Shamrock 5 verwendet ein effizientes In-Vacuum Magnetic Multipel Magnetron, das speziell für PVD-Anwendungen entwickelt wurde. Das Magnetron ist in der Lage, mit bis zu vier getrennten Sputterquellen zu arbeiten und hat eine überlegene gleichmäßige Abscheideeigenschaften. Die Vakuumkammer ist so konzipiert, dass sie eine überlegene Plasmagleichförmigkeit und eine geringe Partikelproduktion bietet. Die Probenstufe hat eine Tragfähigkeit von 50 kg und kann 360 Grad drehen und von 0 bis 45 Grad manuell kippen oder ferngesteuert werden. Die Trägergasfördermaschine versorgt das Aggregat mit Sauerstoff oder Argon und kann einen Strömungsbereich von 0 bis 500 Kubikzentimeter pro Minute erreichen. Shamrock 5 verfügt über ein vollständig integriertes Prozesskontrollwerkzeug, das die gesamten PVD-Prozesse steuern kann. Dazu gehören die Überwachung der Substrattemperatur, einstellbare Prozessparameter und die Echtzeit-Prozessüberwachung. Das Asset umfasst eine Schnittstelle zu einem SPC-Modell, um Prozess- und Qualitätskontrolldaten zu dokumentieren. SPUTTERFOLIEN INC/SFI Shamrock 5 kann die meisten Metalle, Legierungen, keramische Materialien und organische Materialien abscheiden. Das Gerät unterstützt auch die Mono- und Bi-Layer-Abscheidung für spezielle Anwendungen. Das System ist manuell oder fernbedienbar und kann an eine Reihe von digitalen und analogen Geräten angeschlossen werden. Das Gerät verfügt außerdem über eine Auswahl an Softwareprogrammen und Instrumenten zur Datenerfassung, Analyse und Prozesssteuerung. Insgesamt ist SFI Shamrock 5 eine effiziente, hochpräzise Sputtermaschine, die für eine Vielzahl von Abscheideprozessen geeignet ist. Die erweiterte Prozesskontrolle des Tools liefert konsistente und wiederholbare Ergebnisse. Das Modell ist einfach zu bedienen und bietet Benutzern die Möglichkeit, Prozessparameter fernzusteuern und Ergebnisse in Echtzeit zu überwachen.
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