Gebraucht SYSTEM CONTROL TECHNOLOGY / SCT VLS 2150 #9240536 zu verkaufen

SYSTEM CONTROL TECHNOLOGY / SCT VLS 2150
ID: 9240536
Wafergröße: 4"
Sputtering system, 4" Planetary (21"x4").
Equipment CONTROL TECHNOLOGY/SCT VLS 2150 ist ein Sputtersystem, das in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Diese Einheit ist mit einem rezirkulierenden flüssigen Stickstoff (LN2) -Reservoir ausgestattet, das Niedertemperatursputtern für Abscheideprozesse ermöglicht. Die Maschine bietet sowohl physikalische als auch chemische Dampfabscheidung (PVD und CVD) und Substratkühlung in Kombination mit hochpräziser Temperaturregelung. SCT VLS 2150 verfügt über ein monolithisch gekipptes Rotationsmagnetron (MTM), das es ideal zum Sputtern einer breiten Palette von Materialien macht. Tool CONTROL TECHNOLOGY VLS 2150 verfügt über eine breite Palette von interaktiven, intuitiven Bedienoberflächen, um optimale, konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Dieses Asset bietet Benutzern die Möglichkeit, Sputterparameter präzise einzustellen und zu überwachen sowie grafisch durch den Sputterprozess zu navigieren. Zur optimalen Steuerung kann ein PC-basiertes Überwachungs- und Steuerungsmodell hinzugefügt werden. VLS 2150 verfügt über eine Sputterkammer, die bis zu fünf Proben gleichzeitig sputtern und gleichzeitig eine unabhängige Temperaturregelung aufrechterhalten kann. Die Substratkühlung ist in das System integriert, was für die Herstellung höherer Präzisionsschichten in der Halbleiterindustrie wichtig ist. Das Gerät kann auch die Abscheidung einer Vielzahl von Materialien, einschließlich Metalle, Oxide und andere behandeln. In Bezug auf die Sicherheit verfügt Machine CONTROL TECHNOLOGY/SCT VLS 2150 über zahlreiche Funktionen, wie einen Touchscreen HMI, dreifache Sicherheitstürabdeckungen und Verriegelungen und einen einstellbaren Abluftstrom, um den sicheren Betrieb des Werkzeugs zu gewährleisten. Der hohe Automatisierungsgrad sorgt zudem für höchste Sicherheitsstandards und einen hochzuverlässigen Prozess. VLS 2150 SCT, der stottert, wird Anlagenkontrolleur mit dem schritthaltenden fortgeschrittenen ausgestattet stottern Absetzungskontrollfunktionen, sowie ein Rezeptmanagement und Lagerungsmodell, das dem Benutzer erlaubt, bis zu 300 Rezepte zu versorgen. Es umfasst auch automatische Operationen, die höchste Genauigkeit und Wiederholbarkeit bieten. Insgesamt ist Equipment CONTROL TECHNOLOGY VLS 2150 Sputtersystem eine robuste Ausrüstung, die für die Halbleiter- und verwandte Industrien entwickelt wurde. Es bietet eine Vielzahl von Funktionen, darunter einen hohen Automatisierungsgrad, eine präzise Temperaturregelung und eine interaktive Schnittstelle. Mit seiner fortschrittlichen kontrollierten Abscheidung ist VLS 2150 eine zuverlässige und effiziente Wahl für Sputterprozesse.
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