Gebraucht TECPORT Cantata #9124385 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9124385
Ion Beam Sputtering (IBS) System
3-Grid RF Beam
Control interface
Vacuum chamber: Symphony 8; 800mm W x 800mm D x 700mm H
Frame assembly: Tecport with duct system
Rotation system: planetary, (4) 88mm diameter substrate holders
Substrate heater: Eurotherm, SCR halogen heater
Temperature controller: Eurotherm 2408 PID programmable
High vacuum pumping system: Helix CTI OB 320 cryopump with 9600 compressor
Low vacuum pumping system: Edwards
Vacuum gauge controller: Granville-Phillips 307
Vacuum gauge: Granville-Phillips: (2) convectron gauge, (1) tubular ion gauge
Optical monitor system: Intellevation IL 550 Series
RF ion source: KRI 14cm RF ICP gridded ion source package
Target assembly: Tecport, (3) 12" assemblies with automatic indexer
Ion source: KRI EH400HC with hollow cathode electron source
Rack system: Tecport
UPS: MGE Pulsar Extreme M22000RT-2U
Computer: Dell PowerEdge 2950
Touch screen: (2) 15" ELO Intellitouch
Keyboard and mouse
PLC: Allen-Bradley ControlLogix 1756
Kiosk stand: Tecport
(5) MFC: (2) RF ion source, (2) End-hall ion source, (1) HCES
Auto pressure controller: Apex
Shields: Tecport
Software package: Symphony OPUS
Load lock package: Tecport.
TECPORT Cantata ist eine hochmoderne Sputteranlage für industrielle Anwendungen. Es besteht aus leistungsfähiger Vakuumabscheidungstechnologie, die die Abscheidung von dünnen Schichten auf eine breite Palette von Substraten ermöglicht. Die kompakte Bauweise des Systems ermöglicht es, in viele Produktionsbereiche zu passen und bietet einen einfachen Zugang zu seinen Komponenten. Die Kantatensputtereinheit besteht aus einer Vakuumabscheidekammer, Verdampfungsquellen, einem Drehtisch, Prozesssteuerungen und einer Vakuumpumpmaschine. Das Vakuumwerkzeug besteht aus einer Vordervakuumkammer, einer Primärvakuumkammer und einem Lastschloß. Die Verdampfungsquellen bestehen aus Keramik- oder Quarztiegeln und können mit bis zu drei Targets ausgestattet werden. Der Drehtisch ermöglicht die gleichzeitige Bearbeitung mehrerer Substrate, was die Produktivität stark erhöht. Die fortschrittliche Prozesskontrolle von TECPORT Cantata bietet präzise und konsistente Ablagerungsraten, was zu gleichbleibend hochwertigen Teilen führt. Das Modell ist in der Lage, mehrere Materialschichten auf Substraten, einschließlich Aluminium, Gold und verschiedenen Oxidschichten, abzuscheiden. Die resultierenden Teile von Cantata-Geräten haben hervorragende elektrische und optische Eigenschaften und sind somit ideal für eine Vielzahl von Anwendungen. TECPORT Cantata Sputtersystem ist auch extrem einfach zu bedienen. Es nutzt eine benutzerfreundliche Touchscreen-Schnittstelle, die es den Betreibern ermöglicht, ihren Ablagerungsprozess schnell einzurichten und auszuführen. Darüber hinaus verfügt das Gerät über eine Vielzahl von Diagnosewerkzeugen, mit denen Bediener Prozesse in Echtzeit überwachen und erforderliche Anpassungen vornehmen können. All diese Eigenschaften machen Cantata zu einer idealen Lösung für nahezu jede industrielle Vakuumabscheidung. TECPORT Cantata Sputtermaschine ist entworfen, um einen zuverlässigen, wiederholbaren und effizienten Abscheidungsprozess zu bieten. Seine fortschrittlichen Eigenschaften, kombiniert mit seiner kompakten Größe, machen es perfekt für die Groß- und Kleinserienproduktion. Mit seiner leistungsstarken Vakuumabscheidungstechnologie bietet Cantata Betreibern eine vielseitige und kostengünstige Lösung für ihre industriellen Anwendungen.
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