Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Apollo Nova HP #9222501 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9222501
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2015
Sputtering system, 12"
Includes:
Automated front end, 12"
(2) Load ports modules with RFID readers
Load lock / Degas / Wafer heat treatment module
ICP Etch module
With CTI Cryo pump, 8" and Constant Pressure Strike (CPS)
Roughing pump
(5) MAGNETRON Deposition chambers:
Power supply: 20 kW
Cryo pump, 8”
Cryo pump, 10”
B1-NS HP MAGNETRON for Ti
(2) B1-NS HP MAGNETRON for Cu
ESC 2 set of (3) trays size kit, 12"
Load Lock Back Side Gas (LLBSG)
Nitrogen gas stick
(2) Boost deposition shields
(2) Etch chamber shields
SECS / GEM
Cable kit, 30 foot option
(2) Spare boost deposition shields
(2) Spare etch chamber shields
(2) B1 MAGNETRON for future Cu / Ti capability
2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Apollo Nova HP ist eine leistungsstarke Sputterausrüstung, die von einem japanischen Unternehmen, TEL. Das System besteht aus einer Vakuumkammer, einer Induktionsspulensputterquelle und einer Stromversorgung. Die Vakuumkammer ist mit Materialien wie Edelstahl konstruiert und konstruiert, um eine Hochvakuumumumgebung für den Sputterprozess zu schaffen und aufrechtzuerhalten. Es ist mit einer Vielzahl von Vakuummess- und Steuergeräten ausgestattet, wie einem Vakuummessgerät, einem Druckregler und einem Ventil, um eine genaue und stabile Wartung des Vakuumniveaus innerhalb der Vakuumkammer zu gewährleisten. Die Sputterquelle ist eine Induktionsspulensputterquelle und besteht sowohl aus oberen als auch unteren Induktionsspulenquellen. Es hat eine einstellbare Induktivität, Strom und Frequenz, um die Sputterbedingungen für verschiedene Materialien optimieren zu können. Die Induktionsspulensputterquelle ermöglicht die gleichmäßige und kontrollierte Abscheidung von dünnen Schichten auf Substraten in der Vakuumkammer. Die Stromversorgung für die Sputtereinheit ist sowohl für DC- als auch für HF-Leistung ausgelegt. Das HF-Netzteil hat einstellbare Leistungsstufen, und sowohl Strom als auch Spannung werden gesteuert, um präzise Sputterbedingungen zu ermöglichen. Die DC-Netzteile sind unabhängig voneinander einstellbar und verfügen über eine Strom- und Spannungsregelung, um die Zerstäubungsbedingungen anzupassen. TEL Apollo Nova HP ist eine vielseitige und leistungsstarke Sputtermaschine, die sich gut für eine Vielzahl von Anwendungen eignet, wie Dünnschichtabscheidung, IC-dielektrische Schichten, TFTs und Solarzellen-Rückfeldschichten. Es ist robust und langlebig und kann in Branchen wie Mikroelektronik, Automobil und Solarenergie eingesetzt werden.
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