Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON / NEXX Nimbus 314 #9206551 zu verkaufen

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ID: 9206551
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2004
Sputtering system, 12" Includes: (3) Magnetrons RF Substrate bia ICP Etch Options With main system: (18) Electrostatic chucks for wafer (6) Trays Load lock degas SECS / GEM Interface Magnetron: G1-HP W/Ti 2007 Nimbus 314HP 300MM robot upgrade to include: EFEM: 12" (6) ESC Trays: 12" (2) Ground plane etch shields: 12" (2) Cassette adapters 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Nimbus 314 (ein Sputtergerät) von TEL (NEXX) ist ein anpassbares und hochkonfigurierbares Sputtersystem, das mit dem Ziel entwickelt wurde, hochwertige Filme zu niedrigen Kosten zu erstellen. TEL Nimbus 314 verwendet ein Drei-Platten-Design, das aus drei unabhängigen Zielen besteht, so dass Benutzer mehrere Zellen oder Metalle gleichzeitig sputtern können. Die zerstäubte Folie kann auch genau auf Eigenschaften wie elektrischen Widerstand, Kristallinität und Benetzungseigenschaften abgestimmt werden, so dass Benutzer einzigartige und präzise Filme erstellen können, die ihren genauen Anforderungen entsprechen. NEXX Nimbus 314 verwendet eine einzigartige magnetisch begrenzte Plasmaquelle, die eine höhere Konzentration von Ionen in der Zielkammer erzeugt als andere Sputtersysteme. Dies führt zu höheren Abscheideraten und einer höheren Gleichmäßigkeit in der zerstäubten Folie, wodurch die Möglichkeit einer Kontamination reduziert und für Anwendungen mit hohem Volumen ideal ist. Die magnetisch begrenzte Plasmaquelle ermöglicht es Nimbus 314 auch, eine breite Palette von Zielmaterialien zu handhaben, von Edelmetallen bis hin zu Legierungen und Halbleitermaterialien. TOKYO ELECTRON Nimbus 314 wurde entwickelt, um die Effizienz und Flexibilität zu maximieren. Es verfügt über eine einstellbare Versorgungseinheit, die konfiguriert werden kann, um eine Vielzahl von Spannungen und Substraten bereitzustellen, um sicherzustellen, dass das Zielmaterial effizient und konsistent gesputtert wird. Es verfügt auch über eine winkelinvariante Ionenpistole, die zur genauen Winkeleinstellung verwendet werden kann, sowie einen einstellbaren Einfallswinkel zur Erhöhung der verfügbaren Sputterfläche und Zentriergenauigkeit. TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX Nimbus 314 hat auch eine intuitive und einfach zu bedienende Benutzeroberfläche, so dass es eine ideale Wahl für erfahrene Fachleute und neue Benutzer. Es kommt auch mit einer Reihe von Werkzeugen zur Überwachung des Filmwachstums, sowie automatisierte Prozesse zur Anpassung verschiedener Parameter für maximale Effizienz und Wiederholbarkeit. Darüber hinaus hat die Maschine Sicherheitsfunktionen eingebaut, die den Benutzer vor versehentlicher Exposition gegenüber zerstäubtem Material schützen sollen. Zusammenfassend ist TEL Nimbus 314 von TOKYO ELECTRON (TEL/TOKYO ELECTRON/NEXX) ein hochkonfigurierbares und effizientes Sputterwerkzeug, das für optimale Leistung und hervorragende Filmqualität entwickelt wurde. Es bietet ein hohes Maß an Flexibilität, so dass Benutzer ihre Filme an ihre genauen Anforderungen anpassen können. Dieser Vermögenswert nutzt eine leistungsstarke magnetisch begrenzte Plasmaquelle, um Ionen in höherer Konzentration und gleichmäßigerer Abdeckung zu produzieren, was zu konsistenteren Abscheidungsraten und höherem Filmwachstum führt. Darüber hinaus verfügt es über eine umfassende Benutzeroberfläche und verschiedene automatisierte Prozesse für mehr Effizienz und Sicherheit.
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