Gebraucht TEL / TOKYO ELECTRON PDU-MKIV #9226264 zu verkaufen

TEL/TOKYO ELECTRON PDU-MKIV Sputterausrüstung ist eine vielseitige Einheit zum Abscheiden von dünnen Schichten auf einer Vielzahl von Substraten. Dieses Sputtersystem verfügt über eine Parallel Plate Magnetron (PPM) Sputtertechnologie, die zwei statische Magnete verwendet, um ein ionisiertes Plasma zu erzeugen. Mit diesem Plasma wird dann eine gleichmäßige, gerichtete Materialquelle für den Abscheidevorgang bereitgestellt. TEL PDU-MKIV verfügt über einen masselosen Substrathalter, eine eingebaute HF (Radio Frequency) -Leistungsregelung sowie eine Multi-Gas-Einspritzeinheit. Diese Maschine kann bis zu drei Sputterquellen aufnehmen, wobei eine Quelle einer Drehsputterquelle gewidmet ist. Seine fortschrittliche Technologie und robuste Konstruktion sorgt für saubere, konsistente Ergebnisse mit wiederholbarer Genauigkeit. TOKYO ELECTRON PDU-MKIV verfügt über vier separate Prozesskammern, um eine saubere Arbeitsumgebung zu gewährleisten. Die erste Kammer beherbergt einen Drehtisch, der Substrate bis 300 mm Durchmesser handhaben kann, wobei ein Waferhebemechanismus zum Be- und Entladen des Substrats verwendet wird. In der zweiten Kammer befindet sich ein Antikontaminationswerkzeug mit Druckrückkopplungssteuerung, das zur Verringerung oder Beseitigung von Verunreinigungen durch Partikel oder andere nicht überwachte Gase dient. Die dritte Kammer beherbergt die Sputterquelle, wo das benötigte Material in einer Vakuumkammer verdampft wird. Benutzer können die Geschwindigkeit und Energie des Sputterprozesses steuern, um die gewünschte Filmdicke und Zusammensetzung zu erhalten. Die Endkammer beherbergt das Abscheidungswerkzeug, wo die Aluminiumlegierung, Molybdän, Wolfram und andere Metalle erhitzt und geschmolzen werden, bis sie einen gleichmäßigen und gleichmäßigen Film auf der Substratoberfläche bilden. PDU-MKIV ist mit fortschrittlichen Diagnosetools und Datenanalysesoftware ausgestattet, um eine schnelle und fundierte Untersuchung der Asset-Spezifikation und des Sputterprozesses zu ermöglichen. Das Modell ist auch mit einer Vielzahl von benutzerfreundlichen Sicherheitsfunktionen ausgestattet, wie einem Vakuumbruch-Alarm und einer Sicherheitsverriegelung. Abschließend ist TEL/TOKYO ELECTRON PDU-MKIV eine vielseitige Sputterausrüstung, die dünne Filme präzise auf verschiedenen Substraten mit wiederholbarer Genauigkeit abscheiden kann. Es ist mit fortschrittlichen Diagnosetools und Datenanalysesoftware ausgestattet, um sicherzustellen, dass Benutzer das System schnell untersuchen und beheben können, wenn sie es benötigen.