Gebraucht TOKUDA CFS-4ES #9254477 zu verkaufen

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TOKUDA CFS-4ES
Verkauft
Hersteller
TOKUDA
Modell
CFS-4ES
ID: 9254477
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6".
TOKUDA CFS-4ES ist eine Hochleistungs-Sputteranlage, die für die großtechnische Herstellung von Dünnschichtabscheidung konzipiert ist. Dieses Produkt ist auf die industriellen Bedürfnisse der Kunden mit seinen vielseitigen Funktionen und fortschrittlichen Technologien zugeschnitten. Das Sputtersystem ist in der Lage, vier pneumatische Quellen gleichzeitig durchzuführen, was ein konsistentes Prozessergebnis gewährleistet und die Produktionseffizienz erheblich erhöht. Die Maschine ist mit einem leistungsstarken 4-Source-DC-Magnetron-Sputternetzteil ausgestattet, das bis zu 2000 Watt Sputterleistung für jede Quelle bereitstellen kann. Dies wird mit einer automatisierten Steuereinheit kombiniert, die eine präzise Einstellung von Druck, Verhältnis, Abscheidezielgeometrie und Sputtergeschwindigkeit ermöglicht. CFS-4ES besteht aus einer Reihe von Komponenten, wie einer erweiterten Kammer mit einem optisch transparenten Quarzfenster und einem Rasterelektronenmikroskop zur Beobachtung des Sputtervorgangs. Seine Vakuumkammer weist außerdem eine integrierte Temperaturmeßmaschine und ein kryogenes Werkzeug zur Temperaturregelung der Substrate auf. Darüber hinaus verfügt es auch über eine Start- und Stopp-Funktion, die Verunreinigungen durch Abscheidung bei niedrigeren Temperaturen verhindert. TOKUDA CFS-4ES bietet auch eine breite Palette von Abscheidungsmaterialien, einschließlich Metalle, Oxide, Nitride, Polymere, Legierungen und mehr. Damit kann es für eine Vielzahl von Anwendungen wie dielektrische Materialien, optische Beschichtungen, katalytische Beschichtungen, Hardwear-Beschichtungen und Energiespeicher eingesetzt werden. Die Anlage unterstützt eine breite Palette von Prozessen und Substratgrößen von 25mm bis 300mm Durchmesser und verfügt über einen schwimmenden Substrathalter, der einen optimalen Kontakt zwischen Substrat und Sputtertarget gewährleistet. Darüber hinaus ist die Maschine einfach zu bedienen und verfügt über eine benutzerfreundliche Steuerungssoftware, mit der Anwender den Prozess einfach überwachen und kalibrieren können. Darüber hinaus umfasst CFS-4ES ein Nachbehandlungsmodell, das sicherstellt, dass die Substrate vor der Freisetzung aus dem Sputterprozess ausreichend behandelt werden. Dies trägt dazu bei, dass die Qualität des Substrats während des Prozesses nicht beeinträchtigt wird und ermöglicht eine gleichmäßige Abscheidung von Materialien. Zusammenfassend ist TOKUDA CFS-4ES Sputtergeräte ein fortschrittliches Sputtersystem, das zur Herstellung von Dünnschichtabscheidungen verwendet werden kann. Es ist in der Lage, eine breite Palette von Materialien und Prozessen zu unterstützen, und seine benutzerfreundliche Steuerungssoftware macht es einfach zu bedienen und zu überwachen. Darüber hinaus stellt seine Nachbehandlungseinheit sicher, dass die Qualität des Substrats während des Prozesses nicht beeinträchtigt wird.
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