Gebraucht TORR CRC-150 #73201 zu verkaufen
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ID: 73201
Table top sputtering system with etch option
8" diameter X 8" tall chamber, stainless steel
Leybold turbo pump
Dual stage Leybold mechanical vacuum pump
Conflat 4" diamater view port.
TORR CRC-150 Sputterausrüstung ist ein Hochleistungs-Sputtercoater, der speziell für den Einsatz in Forschung und industriellen Anwendungen entwickelt wurde. Es bietet eine zuverlässige und robuste Abscheideleistung, die für zahlreiche Prozessanwendungsanforderungen geeignet ist. Dieser vielseitige Sputter Coater kann verwendet werden, um eine Vielzahl von Materialien über eine breite Palette von Substratgrößen und -formen abzuscheiden. CRC-150 können eine Vielzahl von Metallen, Oxiden, Nitriden und Legierungen in einer Vielzahl von Prozesskonfigurationen handhaben. TORR CRC-150 ist auf schnelle, zuverlässige Wafer-Kompatibilität ausgelegt. Es bietet eine einfache Wafer-Beladung mit einem Roboter-Wafer-Retrieval-System. Das Gerät ist in der Lage, mehrere Wafer mit einem einzigen Durchgang zu bearbeiten und konsistente Ergebnisse zu liefern. Es hat auch mehrere Abscheidungsmodi, einschließlich standardmäßiger gleichmäßiger Schichtabscheidung, Stufenschichtabscheidung und tief konischer Ätzprozesse. CRC-150 Sputtermaschine ist mit einer Hochleistungs-Remote-Plasmaquelle (RPS) und fortschrittlichen Sputterprozessen ausgestattet. Dieses Werkzeug ist in der Lage, hochwertige Beschichtungsschichten mit einer überlegenen Gleichmäßigkeit und Foliendicke über die gesamte Waferoberfläche herzustellen. Diese Anlage bietet eine breite Palette von Parametern zur Steuerung wie Prozesskammerdruck, Gasdurchflussrate, DC und kurze Impulsvorspannungen und Zielsputterraten. Das robuste Design und die robuste Konstruktion von TORR CRC-150 es ermöglichen, metallische und keramische Folien mit hervorragenden Hafteigenschaften herzustellen. Dieses Modell verfügt über eine erweiterte automatisierte Prozesssteuerung (APC), die die Herstellung einer engen Gleichmäßigkeit und Reproduzierbarkeit der Abscheidungsrate, Dicke und anderer Abscheidungsparameter ermöglicht. Die APC-Ausrüstung ist in der Lage, die Zielparameter während der Produktion automatisch zu ändern, um veränderten Bedingungen gerecht zu werden. CRC-150 ist auch mit einem Echtzeit-Monitor ausgestattet, der die Leistung des Systems während der Verarbeitung überwacht und Rückmeldungen liefert, um die Verarbeitungsparameter entsprechend anzupassen. Dieses Gerät bietet auch eine Touchscreen-Steuerschnittstelle, die zum Einrichten und Anzeigen der Parameter des Sputterprozesses verwendet werden kann. TORR CRC-150 ist für die präzise Abscheidung von dünnen Folien für eine Vielzahl von Anwendungen konzipiert. Es ist ideal für die Herstellung von hochwertigen, stabilen und gleichmäßigen Dünnschichtschichten. Diese kostengünstige und effiziente Sputterbeschichtungsmaschine bietet eine präzise Abscheide- und Prozesssteuerung bei minimaler Laufvariabilität.
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