Gebraucht TRIKON / ELECTROTECH Delta 201 #293621505 zu verkaufen

TRIKON/ELECTROTECH Delta 201 ist eine Hochleistungs-Sputteranlage, die für die Abscheidung von dünnen Schichten auf verschiedenen Substraten entwickelt wurde. Dieses System ist eine Single-Source, Multi-Kammer, Open-Frame-Sputtereinheit, die eine breite Palette von Prozessparametern ermöglicht und ist ideal für anspruchsvolle Anwendungen sowohl in der Forschung als auch in der Industrie. TRIKON Delta 201 bietet fünf Kammern für die Sputterbeschichtung, darunter eine Lade-/Entladekammer, eine große Hauptkammer und eine kleine Kammer. Die Kammern sind elektronisch und pneumatisch voneinander getrennt und weisen einen Vakuumbereich von 0,5 bis 1,0 mTorr auf. Die Maschine liefert eine hohe Abscheidungsgleichförmigkeit. Einstellbare Kryo- und Heizanker ermöglichen eine präzise Regelung der Substrattemperatur. ELECTROTECH Delta 201 bietet Platz für eine Vielzahl von Substraten, darunter Metalle, Keramik, Gläser und Wafer mit einem Durchmesser von bis zu 8 "und einer Dicke von bis zu 4 Zoll. Das Werkzeug verfügt über eine flache, trockene Platte mit einer Auswahl von linearen, rotierenden oder manuellen Laborübertragungsmöglichkeiten. Die einstellbare Endzonenhöhe und der flexible y-Zonenbereich ermöglichen eine Feinabstimmung der Prozessparameter für eine Vielzahl von Substraten. Delta 201 ist mit dem TRIKON patentierten „TDC-200“ Deposition Controller ausgestattet, der über eine intuitive Oberfläche und eine benutzerfreundliche Navigation verfügt. Dieser Controller bietet einfachen Zugriff auf alle Prozessparameter und Rezepte und ermöglicht gleichzeitig die Steuerung aller 5 Sputterkammern. Die Steuerung verfügt über eine HF-Drossel und eine Vielzahl von Prozessüberwachungsfunktionen. Die Sputterfunktionen von TRIKON/ELECTROTECH Delta 201 sind unübertroffen. Es verfügt über ELEKTROTECH patentierte „Icarus“ Inertgasdusche, die Sputtereffizienz erhöht und liefert eine breite Palette von Sputterverfahren. Die Lift- off™ Zielkonfiguration ermöglicht gleichmäßiges Sputtern, hervorragende Materialausnutzung und ein hoch kontrollierbares Foliendickenprofil. Insgesamt ist TRIKON Delta 201 Sputtering Asset ein fortschrittliches und vielseitiges Abscheidungsmodell. Es bietet Anwendern eine hochpräzise Steuerung von Prozessparametern mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Die Ausrüstung ist in der Lage, eine breite Palette von Sputterprozessen mit ausgezeichneter Materialausnutzung und kontrollierbaren Foliendickenprofilen durchzuführen, wodurch sie für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet ist.