Gebraucht TRIKON / ELECTROTECH MS 6210 #178693 zu verkaufen

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TRIKON / ELECTROTECH MS 6210
Verkauft
ID: 178693
Sputtering System.
TRIKON/ELECTROTECH MS 6210 ist eine hochkomplexe Sputterausrüstung, die dünne Filme aus verschiedenen Materialien auf verschiedenen Substraten aufbringt. Das System besteht aus einer Ultrahochvakuumkammer, einem Controller und einer Stromversorgung. Die Kammer ist für die Aufrechterhaltung eines Vakuums von bis zu 1,33 x 10-6 Pa mit einer Turbopumpendrehzahl von 3,2 Liter pro Sekunde ausgelegt. Die Steuerung ist an die Stromversorgung angeschlossen und ermöglicht eine präzise Steuerung des Sputtervorgangs. Die Kammer der Einheit ist zylindrisch geformt und mit einem oben angebrachten Kammerflansch und einer oben angebrachten Ablauföffnung ausgestattet. Der Kammerflansch ist mit drei Arm- und Kegelanschlüssen ausgelegt, um ein einfaches Be- und Entladen von Substraten zu ermöglichen. Es gibt auch zwei unten montierte Stickstoffgasöffnungen und zwei oben montierte Gaseinlässe, die eine genaue Kontrolle über den aktiven Gasstrom in der Maschine ermöglichen. Die Kammer wird durch vier thermoelektrische Heizgeräte beheizt, wodurch eine gleichmäßige Abdeckung der erwärmten Oberfläche des Substrats ermöglicht wird. Das Vakuumwerkzeug besteht aus zwei Turbomolekularpumpen, verschiedenen Vakuummessgeräten und einem Ionenmessgerät zur genauen Überwachung der Vakuumparameter der Kammer. Die Anlage ist außerdem mit einem Verschluss gegen Verschmutzung und einem Schruppventil ausgestattet, um die Verschmutzung der zerstäubten Folien zu minimieren. Die Stromversorgung des Modells ist in der Lage, unabhängig von Spannungs- und Stromschwankungen eine stabile und gleichmäßige Stromversorgung der Sputterquelle bereitzustellen. Es gibt drei Steuerkanäle mit unabhängiger Spannungs- und Stromregelung, die eine präzise Einstellung der Stromversorgung und der Sputterrate ermöglichen. Die Steuerung ist an die Stromversorgung angeschlossen und ermöglicht eine präzise Steuerung der Parameter des Sputtervorgangs wie Tastverhältnis, Sputterrate und Zielmaterial. TRIKON MS 6210 Sputteranlage ist in der Lage, Filme mit extrem hoher Gleichmäßigkeit und Oberflächenglätte zu produzieren. Die Folien können auch auf verschiedenen Substraten, wie Glas, Edelstahl und Silizium, mit ausgezeichneter Haftung und ausgezeichneten optischen Eigenschaften abgeschieden werden. Das System ist einfach zu bedienen und bietet eine präzise Kontrolle über den Sputterprozess.
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