Gebraucht TRIKON / ELECTROTECH MS 6210 #9266539 zu verkaufen

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ID: 9266539
Wafergröße: 6"
Sputtering system, 6" (2) Power supplies, 12 kW Sputter etcher CELTEK CM 13-6 RF Generator Metals used: Cu, Cr, TiW, Au, Ti (2) Targets: Cr and Ti Ar Gas Shutter CTI-CRYOGENICS SCW Cryo compressor Spare parts: PCB Gauge Power supply: 400 V, 50 Hz.
TRIKON/ELECTROTECH MS 6210 Sputterausrüstung ist ein hochpräzises, hochleistungsfähiges Sputtersystem, das für eine Vielzahl von Dünnschichtabscheidungs- und Analyseanwendungen entwickelt wurde. Das Gerät verwendet Magnetronsputtern, um eine zuverlässige und wiederholbare Dünnschichtabscheidung über eine breite Palette von Substraten und Materialien bereitzustellen. Die Maschine verfügt über eine Vakuumkammer mit Doppelkathoden, digitale Prozessgas- und Drucksteuerung sowie ein integriertes hochauflösendes optisches Inspektionswerkzeug zur Überwachung des Abscheideprozesses und zur Überwachung der Produktqualität. Die Anlage verfügt über eine einzigartige Doppelkathodenanordnung, die eine gleichzeitige Abscheidung von zwei verschiedenen Folien wie Oxiden, Nitriden und Metallen ermöglicht. Die Abscheiderate und Zusammensetzung werden ständig überwacht und auf optimale Leistung eingestellt. TRIKON MS 6210 verfügt zudem über ein einstellbares Prozessgas- und Druckregelmodell, das so konfiguriert werden kann, dass es für jede Anwendung die optimalen Abscheidebedingungen bietet. Die Ausrüstung ist mit hochauflösender Optik entworfen, um den Dünnschichtabscheidungsprozess zu überwachen und eine Ablagerung von hoher Qualität zu gewährleisten. Das optische System ist mit einer hochauflösenden Digitalkamera und einer ausgeklügelten Software zur automatisierten Analyse der Abscheiderate, Zusammensetzung und Produktqualität integriert. Die Software ermöglicht auch eine detaillierte Analyse von Substratgleichförmigkeit, Schichtdicke, Rauheit und anderen Eigenschaften. Das Gerät wird von einer leistungsstarken Computersteuerungsmaschine unterstützt und umfasst eine umfassende Rezepturbibliothek für verschiedene Abscheideprozesse. Das Computersteuerungswerkzeug ist benutzerfreundlich gestaltet und bietet eine präzise Kontrolle über den Abscheidevorgang und die Datenerfassung. Die Rezepte und Einstellungen können einfach geändert und für die zukünftige Verwendung gespeichert werden. Die Anlage ist für hohe Leistung und Genauigkeit bei Dünnschichtabscheidungs- und Analyseanwendungen ausgelegt. Seine kompakte Größe ermöglicht eine einfache Installation in einer Fertigungsstraße. Das Modell ist auch mit einer breiten Palette von Zubehör und Komponenten kompatibel, wie Schutzschilde, Substrathalter, Sputterschutz, Staubsammelsysteme und vieles mehr. ELECTROTECH MS-6210 Sputtering Equipment ist eine ideale Wahl für Dünnschichtabscheidungen und Analyseanwendungen. Seine hohe Präzisionsabscheidungsrate, Zusammensetzungssteuerung und hochauflösende Optik bieten zuverlässige und wiederholbare Ergebnisse. Das umfangreiche Angebot an kompatiblen Komponenten und Zubehör macht es zu einer vielseitigen Lösung für eine Vielzahl von Fertigungs- und Forschungsanwendungen.
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