Gebraucht TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123640 zu verkaufen
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ID: 9123640
Wafergröße: 6"
PECVD System, 6"
Process: SiN-SiC (Sio2)
Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4
Manuals included.
TRIKON/ELECTROTECH ND-6210 ist eine hochwertige Sputterausrüstung für eine Vielzahl von Anwendungen. Mit allen notwendigen Eigenschaften für die qualitativ hochwertige Goldabscheidung ist dieses System die ideale Wahl für Forschung und industrielle Prozesse. Die Einheit basiert auf einer dreiachsigen computergesteuerten Bewegungsplattform, die zwei Linearschieber und einen Drehschieber umfasst. Dadurch entsteht eine maximale Arbeitsfläche von 400 x 400 x 70 mm. Insgesamt drei Arme, die jeweils bis zu vier Ziele für die Doppel- oder Quad-Konfiguration tragen, bieten eine unbegrenzte Entfernung von Muster zu Ziel. TRIKON ND-6210 erreicht die höchste Präzision der Goldabscheidung dank seiner leistungsstarken Turbo Ionization Vacuum (TIV) Sputter Quelle. Diese hochmoderne Technologie verfügt über sehr niedrige Ionisationsraten, wodurch die Goldabscheidungsrate für Dünnschichtanwendungen weiter reduziert werden kann. Unterdessen liefert seine Hochspannungslichtbogenzündung eine hohe Abscheiderate. Die TIV-Quelle ermöglicht auch einen kurzen Stand-by-Strom, was bedeutet, dass die Maschine schnell zwischen verschiedenen Goldprofilen wechseln kann. ELECTROTECH ND-6210 bietet auch eine Vielzahl von unterstützenden Prozessüberwachungswerkzeugen. Sein benutzerfreundliches Touch-LCD-Panel liefert genaue Sputterdruck-Messwerte und ermöglicht eine Ferndruckkontrolle. Es ermöglicht auch direkte Betriebsparameter Abstimmung, so dass Benutzer die totale Kontrolle über den Abscheidungsprozess. Darüber hinaus behält ND-6210 eine niedrige Ausgangstemperatur bei und verfügt über eine 90-Grad-Biegekupplung, die eine maximale Flexibilität des Werkzeugs gewährleistet. Durch die Vermeidung von Verschmutzungen wird die Lebensdauer der Bauteile erhöht und eine saubere Prozesskammer aufrechterhalten. Zusammenfassend ist TRIKON/ELECTROTECH ND-6210 eine fortschrittliche Sputteranlage, die für eine Vielzahl von Anwendungen entwickelt wurde. Dank seiner hochmodernen Turbo Ionization Vacuum Sputter-Quelle bietet es außergewöhnliche Präzision und Kontrolle in der Goldabscheidung. Unterstützende Prozessüberwachungswerkzeuge, ein benutzerfreundliches Touch-LCD-Panel, niedrige Ausgangstemperatur und flexible Kupplung stärken seine Attraktivität weiter.
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