Gebraucht TRIKON / ELECTROTECH ND-6210 #9123644 zu verkaufen
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ID: 9123644
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1995
PECVD System, 6"
Process: SiN-SiC (Sio2)
Gases: CF4, O2, N2, N2O, SiH4, NH3, SiH4/Ar-5%, CH4
Manuals included
Missing parts:
RF Generator
Chuck
Vacuum sensor
1995 vintage.
TRIKON/ELECTROTECH ND-6210 ist eine Hochleistungs-Sputterausrüstung für detaillierte Mehrschichtabscheidung. Dieses System eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, wie Optoelektronik, Hybridmikroelektronik, Solarzellen, Gate-Dielektrika, Schutzschichten und viele andere physikalische Aufdampfverfahren. TRIKON ND-6210 verfügt über ein modernes DC-Netzteil mit einer maximalen Leistung von bis zu 25 kV und einer Spitzenleistung von 500 W. Dies macht es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, da hohe Spannungen die volle Kontrolle der Tiefe und Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen Schichten ermöglichen. ELECTROTECH ND-6210 umfasst auch eine unabhängige Dreifachsteuerungsmaschine, die die Steuerung von Zielstrom, Spannung und/oder Leistung ermöglicht. ND-6210 hat eine robuste mechanische Struktur, um die Langzeitstabilität bei Abscheideprozessen zu gewährleisten. Diese Struktur umfasst eine zuverlässige Vakuumkammer und hochpräzise Bewegungsstufen. Die Vakuumkammer ist ein vollständig integriertes Verteilerkastenwerkzeug mit einer Diffusionspumpe mit großer Kapazität und einer zweistufigen mechanischen Pumpe. Dies ermöglicht einen Grunddruck von bis zu 5 x 10-9 Torr. Die Bewegungsstufen haben eine niedrigere Analyseauflösung von 0,1 µm und werden von einem Servoantriebsmotor betrieben. Dies ermöglicht eine präzise Positionierung von Substrat und Target. TRIKON/ELECTROTECH ND-6210 verfügt zudem über ein integriertes Sputter-Target von 10 cm Durchmesser. Das Target wird aus hochreinen Materialien wie Keramik und Graphit hergestellt, die ideal für die direkte Abscheidung sind. Darüber hinaus kann das Sputter-Target nichtmetallische Materialien wie Oxide, Nitride und Silizide unterstützen. Das HF-Netzteil sorgt für präzise Energiezufuhr und Steuerungsfunktionen, die eine gleichmäßige Schichtdicke ermöglichen. TRIKON ND-6210 ist zudem mit seiner intuitiven Benutzeroberfläche benutzerfreundlich gestaltet. Das Asset umfasst einen Touchscreen, einen digitalen Feedback-Indikator und programmierbare Prozessrezepte. Der Benutzer kann auch problemlos Prozessparameter wie Druck, Prozesszeit, Gasdurchfluss und Strom steuern. So können Anwender den Sputterprozess einfach anpassen und die Abscheidung in Echtzeit überwachen. Insgesamt ist ELECTROTECH ND-6210 ein robustes, leistungsstarkes Sputtermodell, das sich ideal für die mehrschichtige Abscheidung in einer Vielzahl von Branchen eignet. Mit seiner fortschrittlichen Stromversorgungsausrüstung, einem unabhängigen Dreizeitkontrollsystem, einer robusten mechanischen Struktur, einem Sputter-Ziel und einer benutzerfreundlichen Schnittstelle ist ND-6210 die perfekte Wahl für jede Präzisionsabscheidungsanwendung.
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